SiC coated grafit Carrier / Susceptor

Katerangan pondok:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier / Susceptor mangrupikeun produk berkinerja tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng dipercaya dina waktos anu berkepanjangan. Cai mibanda résistansi panas super alus tur uniformity termal, purity tinggi, résistansi erosi, sahingga solusi sampurna pikeun aplikasi processing wafer.

 


Rincian produk

Tag produk

SiC coated suscetpor mangrupakeun komponén konci dipaké dina sagala rupa prosés manufaktur semikonduktor. Kami nganggo téknologi anu dipaténkeun pikeun ngajantenkeun suscetpor dilapis SiC kalayan kamurnian anu luhur pisan, kaseragaman palapis anu saé sareng umur jasa anu saé, ogé résistansi kimiawi anu luhur sareng sipat stabilitas termal.

Keunggulan produk kami :

1. lalawanan oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
2. purity tinggi na uniformity termal
3. Alus lalawanan korosi: asam, alkali, uyah jeung réagen organik.
4. karasa High, beungeut kompak, partikel rupa.
5. hirup layanan leuwih panjang sarta leuwih awét

pamawa2 pamawa4

pamawa1 pamawa3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

性质 / Harta

典型数值 / Niley has

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadetan

3,21 g/cm³

硬度 / Teu karasa

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2~10μm

纯度 / Kamurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas panas

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu sublimation

2700 ℃

抗弯强度 / Kakuatan Flexural

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus ngora

430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃

导热系数 / TérmalKonduktivitas

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Warmly ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik urang, hayu urang sawala salajengna!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • saméméhna:
  • Teras:

  • Chat Online WhatsApp!