1. Pangakuan saméméh beberesih
1) Nalika étaParahu grafit PECVD/ carrier dipaké leuwih ti 100 nepi ka 150 kali, operator kudu pariksa kaayaan palapis dina waktu. Upami aya palapis anu teu normal, éta kedah dibersihkeun sareng dikonfirmasi. Warna palapis normal tina wafer silikon dina kapal grafit / pamawa nyaéta bulao. Mun wafer ngabogaan non-biru, sababaraha kelir, atawa bédana warna antara wafers badag, éta mangrupa palapis abnormal, sarta ngabalukarkeun Abnormalitas nu perlu dikonfirmasi dina jangka waktu.
2) Saatos prosés tanaga nganalisis kaayaan palapis tinaParahu grafit PECVD/ carrier, aranjeunna bakal nangtukeun naha parahu grafit kudu cleaned na naha titik kartu kudu diganti, sarta grafit parahu / pamawa nu kudu cleaned bakal dibikeun ka tanaga parabot pikeun beberesih.
3) Sanggeusparahu grafit/ carrier ruksak, tanaga produksi bakal nyandak kaluar kabeh wafers silikon dina parahu grafit sarta ngagunakeun CDA (hawa dikomprés) pikeun nyortir kaluar fragmen dinaparahu grafit. Saatos réngsé, tanaga alat-alat bakal angkat kana tanki asam anu parantos disiapkeun sareng saimbang tina solusi HF pikeun beberesih.
2. Ngabersihan parahu grafit
Disarankeun ngagunakeun 15-25% larutan asam hidrofluorat pikeun tilu rounds beberesih, unggal pikeun 4-5 jam, sarta périodik bubbling nitrogén salila prosés soaking jeung beberesih, nambahan ngeunaan satengah jam beberesih; catetan: teu dianjurkeun ngagunakeun hawa langsung salaku sumber gas pikeun bubbling. Saatos pickling, bilas ku cai murni salila kira 10 jam, sarta pastikeun yén parahu geus tuntas cleaned. Saatos beberesih, mangga pariksa beungeut parahu, titik kartu grafit jeung parahu lambar gabungan, sarta bagian séjén ningali lamun aya wae résidu silikon nitride. Lajeng garing nurutkeun sarat.
3. beberesih precautions
A) Kusabab asam HF mangrupakeun zat kacida corrosive sarta ngabogaan volatility tangtu, éta bahaya pikeun operator. Ku alatan éta, operator di pos beberesih kedah nyandak pancegahan kaamanan tur diurus ku jalma dedicated.
B) Disarankeun pikeun ngabongkar parahu sareng ngan ukur ngabersihan bagian grafit salami beberesih, ku kituna unggal bagian kontak tiasa dibersihkeun langkung tuntas. Kiwari, loba pabrik domestik make beberesih sakabéh, nu merenah, tapi kusabab asam HF nyaeta corrosive kana bagian keramik, beberesih sakabéh bakal shorten umur jasa tina bagian pakait.
waktos pos: Dec-23-2024