Struktur internal alat tabung tungku dijelaskeun sacara rinci

Salaku ditémbongkeun di luhur, mangrupakeun has

Babak kahiji:

▪ Elemen Pemanas (heating coil):

ayana di sabudeureun tube tungku, biasana dijieunna tina kawat lalawanan, dipaké pikeun panas jero tube tungku.

▪ Pipa Kuarsa:

Inti tina tungku oksidasi panas, dijieunna tina quartz-purity tinggi nu bisa tahan hawa tinggi na tetep kimiawi inert.

▪ Eupan Gas:

Tempatna di luhur atanapi sisi tabung tungku, éta dianggo pikeun ngangkut oksigén atanapi gas sanés ka jero tabung tungku.

▪ SS Flange:

komponén anu nyambungkeun tabung quartz jeung garis gas, mastikeun tightness jeung stabilitas sambungan.

▪ Jalur Pakan Gas:

Pipa anu nyambungkeun MFC ka port suplai gas pikeun pangiriman gas.

▪ MFC (Pengontrol Aliran Massa):

Alat anu ngatur aliran gas di jero tabung quartz pikeun ngatur jumlah gas anu diperyogikeun.

▪ liang hawa:

Dipaké pikeun curhat gas haseup ti jero pipah tungku ka luar alat.

Bagian handap:

▪ Wafer Silikon dina Panyekel:

wafers silikon anu housed dina Holder husus pikeun mastikeun panas seragam salila oksidasi.

▪ Panyekel Wafer:

Dipaké pikeun nahan wafer silikon sareng mastikeun yén wafer silikon tetep stabil salami prosésna.

▪ Alas:

Struktur anu nahan wadah wafer silikon, biasana didamel tina bahan tahan suhu luhur.

▪ Lift:

Dipaké pikeun ngangkat Panyekel Wafer kana jeung kaluar tina tabung quartz pikeun loading otomatis tur unloading wafers silikon.

▪ Robot Transfer Wafer:

lokasina di sisi alat tube tungku, éta dipaké pikeun otomatis nyabut wafer silikon tina kotak sarta nempatkeun eta dina tube tungku, atawa cabut sanggeus ngolah.

▪ Carousel Panyimpenan Kaset:

Carousel gudang kaset dipaké pikeun nyimpen kotak ngandung wafers silikon sarta bisa diputer pikeun aksés robot.

▪ Kaset Wafer:

kaset wafer dipaké pikeun nyimpen jeung mindahkeun wafers silikon pikeun diolah.