Silicon carbide (SiC) mangrupakeun bahan semikonduktor sanyawa anyar. Silicon carbide boga gap band badag (ngeunaan 3 kali silikon), kakuatan médan kritis tinggi (kira-kira 10 kali silikon), konduktivitas termal tinggi (kira-kira 3 kali silikon). Ieu mangrupa bahan semikonduktor generasi saterusna penting. coatings SiC loba dipaké dina industri semikonduktor jeung photovoltaics surya. Khususna, susceptor anu dianggo dina kamekaran epitaxial LED sareng epitaksi kristal tunggal Si ngabutuhkeun palapis SiC. Alatan trend luhur kuat tina LEDs dina cahaya jeung industri tampilan, sarta ngembangkeun vigorous industri semikonduktor,produk palapis SiCprospek pisan alus.
Widang APLIKASI
Purity, Struktur SEM, analisis ketebalan tinapalapis SiC
Purity of SiC coatings on grafit ku ngagunakeun CVD nyaeta saluhur 99,9995%. Strukturna nyaéta fcc. Film SiC coated on grafit nyaeta (111) berorientasi sakumaha ditémbongkeun dina data XRD (Gbr.1) nunjukkeun kualitas kristalin tinggi na. Ketebalan pilem SiC pisan seragam ditémbongkeun saperti dina Gbr. 2.
Gbr. 2: seragam ketebalan pilem SiC SEM sareng XRD pilem béta-SiC dina grafit
Data SEM tina pilem ipis CVD SiC, ukuran kristal nyaéta 2 ~ 1 Opm
Struktur kristal pilem CVD SiC nyaéta struktur kubik raray-dipuseurkeun, sarta orientasi tumuwuhna pilem deukeut ka 100%
Silicon carbide (SiC) coatedbasa mangrupa basa pangalusna pikeun silikon kristal tunggal jeung epitaxy GaN, nu mangrupakeun komponén inti tina tungku epitaxy. Dasarna mangrupikeun aksésori produksi konci pikeun silikon monocrystalline pikeun sirkuit terpadu ageung. Cai mibanda purity tinggi, résistansi suhu luhur, résistansi korosi, tightness hawa alus sarta ciri bahan alus teuing lianna.
aplikasi produk jeung pamakéan
Lapisan dasar grafit pikeun pertumbuhan epitaxial silikon kristal tunggal Cocog pikeun mesin Aixtron, jsb Ketebalan palapis: 90 ~ 150umDiaméter kawah wafer nyaéta 55mm.
waktos pos: Mar-14-2022