Носач/сцептор графита обложен СиЦ

Кратак опис:

ВЕТ Енерги СиЦ Цоатед Грапхите Царриер/Сусцептор је производ високих перформанси дизајниран да обезбеди доследне и поуздане перформансе током дужег периода. Има супер добру отпорност на топлоту и термичку униформност, високу чистоћу, отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за апликације обраде плочица.

 


Детаљи о производу

Ознаке производа

Сусцетпор обложен СиЦ је кључна компонента која се користи у различитим производним процесима полупроводника. Користимо нашу патентирану технологију да направимо сусцетпор обложен СиЦ-ом са изузетно високом чистоћом, добром униформношћу премаза и одличним веком трајања, као и високом хемијском отпорношћу и својствима термичке стабилности.

Карактеристике наших производа:

1. Отпорност на оксидацију високе температуре до 1700℃.
2. Висока чистоћа и термичка униформност
3. Одлична отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
4. Висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
5. Дужи радни век и издржљивији

носилац2 носилац4

носилац1 носилац3

 

ЦВД SiC薄膜基本物理性能

Основна физичка својства ЦВД СиЦпремазивање

性质 / Проперти

典型数值 / Типична вредност

晶体结构 / Цристал Струцтуре

ФЦЦ β фаза多晶, 主要为(111)取向

密度 / Густина

3,21 г/цм³

硬度 / Тврдоћа

2500 维氏硬度 (500г оптерећење)

晶粒大小 / Величина зрна

2~10μм

纯度 / Цхемицал Пурити

99,99995%

热容 / Капацитет топлоте

640 Ј·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимације

2700℃

抗弯强度 / Флекурал Стренгтх

415 МПа РТ 4 тачке

杨氏模量 / Иоунг'с Модулус

430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃

导热系数 / ТхермалЦондуцтивити

300В·м-1·К-1

热膨胀系数 / термичка експанзија (ЦТЕ)

4,5×10-6K-1

1

2

Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу фабрику, хајде да разговарамо даље!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Претходно:
  • Следеће:

  • ВхатсАпп онлајн ћаскање!