Детаљно је објашњена унутрашња структура цевне опреме пећи

Као што је горе приказано, типично је

Прво полувреме:

▪ Грејни елемент (грејни калем):

смештене око цеви пећи, обично направљене од отпорних жица, које се користе за загревање унутрашњости цеви пећи.

▪ Кварцна цев:

Језгро пећи за врућу оксидацију, направљено од кварца високе чистоће који може да издржи високе температуре и остане хемијски инертан.

▪ Напајање гасом:

Смештен на горњем или бочном делу цеви пећи, користи се за транспорт кисеоника или других гасова у унутрашњост цеви пећи.

▪ СС прирубница:

компоненте које повезују кварцне цеви и гасоводе, обезбеђујући непропусност и стабилност везе.

▪ Линије за довод гаса:

Цеви које повезују МФЦ са прикључком за довод гаса за пренос гаса.

▪ МФЦ (контролор протока масе):

Уређај који контролише проток гаса унутар кварцне цеви да прецизно регулише потребну количину гаса.

▪ Вентилација:

Користи се за одзрачивање издувних гасова из унутрашњости цеви пећи ка спољашњој страни опреме.

Доњи део:

▪ Силицијумске плочице у држачу:

Силицијумске плочице су смештене у посебан држач како би се обезбедила уједначена топлота током оксидације.

▪ Држач вафла:

Користи се за држање силиконске плочице и осигурава да силицијумска плочица остане стабилна током процеса.

▪ Постоље:

Структура која држи држач силиконских плочица, обично направљен од материјала отпорног на високе температуре.

▪ Лифт:

Користи се за подизање држача вафла у и из кварцних цеви за аутоматско пуњење и истовар силицијумских плочица.

▪ Робот за пренос вафла:

који се налази на бочној страни цевног уређаја за пећ, користи се за аутоматско уклањање силицијумске плочице из кутије и постављање у цев за пећ или уклањање након обраде.