Детаљно је објашњена унутрашња структура цевне опреме пећи

Као што је горе приказано, типично је

Прво полувреме:
Грејни елемент (намотај за грејање): смештен око цеви пећи, обично направљен од отпорних жица, који се користе за загревање унутрашњости цеви пећи.
Кварцна цев: Језгро пећи за врућу оксидацију, направљено од кварца високе чистоће који може да издржи високе температуре и остане хемијски инертан.
Довод гаса: Налази се на горњем или бочном делу цеви пећи, користи се за транспорт кисеоника или других гасова у унутрашњост цеви пећи.
СС прирубница: компоненте које повезују кварцне цеви и гасоводе, обезбеђујући непропусност и стабилност везе.
Линије за довод гаса: Цеви које повезују МФЦ са прикључком за довод гаса за пренос гаса.
МФЦ (Контролер масеног протока) : Уређај који контролише проток гаса унутар кварцне цеви да би прецизно регулисао потребну количину гаса.
Одзрачивање: Користи се за одзрачивање издувних гасова из унутрашњости цеви пећи ка спољној страни опреме.

Доњи део
Силицијумске плочице у држачу: Силиконске плочице су смештене у посебан држач како би се обезбедила уједначена топлота током оксидације.
Држач плочице: Користи се за држање силиконске плочице и осигурава да силицијумска плочица остане стабилна током процеса.
Постоље: Структура која држи држач силиконских плочица, обично направљен од материјала отпорног на високе температуре.
Елеватор: Користи се за подизање држача вафла у и из кварцних цеви за аутоматско утовар и истовар силицијумских плочица.
Робот за пренос вафла: смештен на бочној страни уређаја цеви за пећ, користи се за аутоматско уклањање силиконске плочице из кутије и постављање у цев за пећ или уклањање након обраде.
Вртешка за складиштење касета: Вртешка за складиштење касета се користи за складиштење кутије која садржи силиконске плочице и може се ротирати за приступ роботу.
Касета за вафле: касета за вафле се користи за складиштење и преношење силиконских плочица које се обрађују.