КАКО НАПРАВИТИ СИЛИКОНСКУ ВАФЛУ
A ваферје комад силицијума дебљине отприлике 1 милиметар који има изузетно равну површину захваљујући процедурама које су технички веома захтевне. Накнадна употреба одређује који поступак узгоја кристала треба применити. У процесу Чохралског, на пример, поликристални силицијум се топи и кристал танак као оловка је уроњен у растопљени силицијум. Семенски кристал се затим ротира и полако повлачи нагоре. Резултат је веома тежак колос, монокристал. Могуће је одабрати електричне карактеристике монокристала додавањем малих јединица додатака високе чистоће. Кристали су допирани у складу са спецификацијама купца, а затим полирани и исечени на кришке. Након разних додатних корака производње, купац добија своје наведене облатне у посебном паковању, што му омогућава да одмах користи облатне у својој производној линији.
ЦЗОЦХРАЛСКИ ПРОЦЕС
Данас се велики део силицијумских монокристала узгаја према процесу Чохралског, који укључује топљење поликристалног силицијума високе чистоће у хипер чистом кварцном лончићу и додавање додатка (обично Б, П, Ас, Сб). Танак, монокристални кристал се урони у растопљени силицијум. Из овог танког кристала се тада развија велики ЦЗ кристал. Прецизна регулација температуре и протока растопљеног силицијума, ротације кристала и лончића, као и брзине извлачења кристала резултира изузетно квалитетним монокристалним силицијумским инготом.
МЕТОДА ФЛОАТ ЗОНЕ
Монокристали произведени методом флоат зоне идеални су за употребу у енергетским полупроводничким компонентама, као што су ИГБТ. Цилиндрични поликристални силицијумски ингот је постављен преко индукционог намотаја. Електромагнетно поље радио фреквенције помаже да се силицијум отопи из доњег дела штапа. Електромагнетно поље регулише проток силицијума кроз малу рупу у индукционом калему и на монокристал који лежи испод (метода плутајуће зоне). Допинг, обично са Б или П, постиже се додавањем гасовитих супстанци.
Време поста: 07.06.2021