Главне функције одчамац од силицијум карбидаослонац и носач кварцног чамца су исти.Чамац од силицијум карбидаподршка има одличне перформансе али високу цену. Он представља алтернативни однос са подршком за кварцне чамце у опреми за обраду батерија у тешким условима рада (као што је ЛПЦВД опрема и опрема за дифузију бора). У опреми за обраду батерија са уобичајеним радним условима, због односа цена, силицијум карбид и подршка за кварцне чамце постају коегзистирајуће и конкурентске категорије.
① Однос замене у ЛПЦВД и опреми за дифузију бора
ЛПЦВД опрема се користи за оксидацију тунелских ћелија батерија и процес припреме допираног полисилицијумског слоја. Принцип рада:
Под атмосфером ниског притиска, у комбинацији са одговарајућом температуром, постижу се хемијска реакција и формирање филма таложења за припрему ултра-танког тунелског оксидног слоја и полисилицијумског филма. У процесу оксидације тунела и процеса припреме слоја допираног полисилицијума, носач чамца има високу радну температуру и на површини ће се таложити силицијумски филм. Коефицијент термичког ширења кварца је прилично другачији од коефицијента силицијумског. Када се користи у горе наведеном процесу, потребно је редовно киселити и уклањати силицијум наталожен на површини како би се спречило ломљење кварцног носача чамца услед топлотног ширења и контракције због различитог коефицијента топлотног ширења од силицијума. Због честог кисељења и ниске чврстоће на високим температурама, кварцни држач за чамце има кратак век и често се мења у процесу оксидације тунела и допираног полисилицијумског слоја, што значајно повећава трошкове производње батеријске ћелије. Коефицијент експанзијесилицијум карбидаје близу силицијум. Интегрисаничамац од силицијум карбидадржач не захтева кисељење у процесу оксидације тунела и припреме слоја допираног полисилицијума. Има високу чврстоћу на високим температурама и дуг радни век. То је добра алтернатива кварцном држачу за чамац.
Опрема за експанзију бора се углавном користи за процес допирања елемената бора на подлогу силиконске плочице Н-типа батеријске ћелије за припрему емитера типа П да формира ПН спој. Принцип рада је да се реализује хемијска реакција и формирање филма молекуларног таложења у атмосфери високе температуре. Након што се филм формира, може се дифундирати високотемпературним загревањем да би се остварила функција допинга површине силицијумске плочице. Због високе радне температуре опреме за експанзију бора, кварцни држач чамаца има ниску чврстоћу при високим температурама и кратак радни век у опреми за експанзију бора. Интегрисаничамац од силицијум карбидадржач има високу чврстоћу на високим температурама и добра је алтернатива кварцном држачу за чамце у процесу експанзије бора.
② Однос замене у другој процесној опреми
СиЦ носачи за чамце имају мали производни капацитет и одличне перформансе. Њихова цена је генерално већа од цене кварцних носача за чамце. У општим условима рада опреме за обраду ћелија, разлика у веку трајања између СиЦ носача за чамце и кварцних носача за чамце је мала. Даљњи купци углавном упоређују и бирају између цене и учинка на основу сопствених процеса и потреба. СиЦ носачи за чамце и кварцни носачи за чамце постали су коегзистентни и конкурентни. Међутим, бруто профитна маржа СиЦ носача за чамце је тренутно релативно висока. Са падом трошкова производње СиЦ носача за чамце, ако продајна цена СиЦ носача за чамце активно опадне, то ће такође представљати већу конкурентност кварцним носачима за чамце.
Однос употребе
Пут ћелијске технологије је углавном ПЕРЦ технологија и ТОПЦон технологија. Тржишни удео ПЕРЦ технологије је 88%, а тржишни удео ТОПЦон технологије је 8,3%. Заједнички тржишни удео ова два је 96,30%.
Као што је приказано на слици испод:
У ПЕРЦ технологији, носачи за чамце су потребни за предњу дифузију фосфора и процесе жарења. У ТОПЦон технологији, носачи за чамце су потребни за предњу дифузију бора, ЛПЦВД, стражњу дифузију фосфора и процесе жарења. Тренутно се носачи за чамце од силицијум карбида углавном користе у ЛПЦВД процесу ТОПЦон технологије, а њихова примена у процесу дифузије бора је углавном верификована.
Слика Примена носача за чамце у процесу обраде ћелија
Напомена: Након предњег и задњег премаза ПЕРЦ и ТОПЦон технологијама, и даље постоје везе као што су сито штампа, синтеровање и тестирање и сортирање, које не подразумевају употребу носача за чамце и нису наведене на горњој слици.
Време поста: 15.10.2024