Qiimaha ugu sarreeya saamiyada VET EnergySusceptor MOCVD SiC Dahaaranwaa badeecad wax-qabad sare leh oo loogu talagalay waxqabad joogto ah oo la isku halayn karo ee codsiyada habaynta wafer. Muujinaya mid ka sarreeyaDahaarka SiC, waxa ay bixisaa iska caabin kulayl gaar ah, lebbiska kulaylka, iyo iska caabin daxalka. Ku habboonQalabka MOCVD, tanSusceptor silikoon carbide dahaarka lehwaxay hubisaa ugu fiicanwaferkorriinka iyo cimriga qalabka oo la fidiyey.
Astaamaha Alaabta:
1. Iska caabin oksaydh heerkul sare ah ilaa 1700 ℃Daahankayaga SiC wuxuu bixiyaa degenaansho kulayl aan caadi ahayn, xitaa meelaha ugu baahida badan MOCVD.
2. Nadiif sare iyo isku mid ahaanshaha kulaylkaSusceptor silicon carbide susceptor waxay dammaanad qaadaysaa wasakhda ugu yar iyo kuleylinta joogtada ah ee waferka, hubinta tayada crystal sare.
3. Iska caabin daxalka oo aad u fiican: U adkaysta asiidhyada, alkalisyada, cusbada, iyo reagents organic, danbaylahayagu waxa uu ilaaliyaa daacadnimadeeda deegaan kiimikaad oo kala duwan.
4. Qalafsanaan sare, oog cufan, iyo qaybo yaryarGuryahaani waxay gacan ka geystaan nolol dheer oo adeeg iyo adkeysiga oo la xoojiyay.
Faa'iidooyinka Alaabta iyo Codsiyada Dahaarka leh ee CVD-ga silikoon carbide
Dhibbanayaasha MOCVD waxay keenaan faa'iidooyin la taaban karo xagga wax-soo-saarka semiconductor. Dahaarka SiC wuxuu wanaajiyaa tayada waferka, wuxuu yareeyaa cilladaha, wuxuuna wanaajiyaa waxtarka wax soo saarka. Tamarta VET waxay bixisa alaabooyin kala duwan oo silikoon carbide ah oo loogu talagalay baahiyaha gaarka ah ee warshadaha semiconductor iyo photovoltaic.
Isbeddelka Alaabta iyo Taageerada Farsamada
Sida soo saaraha hormuudka ah ee silikoon carbide iyo alaabta graphite, VET Energy waxay bixisaa xalal habaysan oo leh dahaaryo kala duwan sida SiC, TaC, kaarboon dhalo ah, iyo kaarboon pyrolytic ah. Kooxdayada khibradda leh waxay ku siin karaan hagitaan khabiir iyo taageero codsigaaga gaarka ah.