Doonta Wafer ee Silicon Carbide Dib loo cusboonaysiiyay oo leh Dahaarka CVD

Astaamaha carbide silicon recrystalized

Silicon carbide (R-SiC) dib loo soo celiyay waa shay wax qabad sare leh oo engegnaantiisa labaad ka xigta dheeman, kaas oo lagu sameeyay heerkul sare oo ka sarreeya 2000℃. Waxay haysaa sifooyin badan oo aad u wanaagsan oo SiC ah, sida xoogga heerkulka sare, iska caabinta daxalka xooggan, iska caabinta oksaydhka ee wanaagsan, caabbinta shoogga kulaylka wanaagsan iyo wixii la mid ah.

● Sifooyin farsamo oo aad u wanaagsan. Carbide silikoon dib loo soo celiyay ayaa ka xoog badan iyo qallafsanaan ka badan kan kaarboonka, iska caabbinta saamaynta sare leh, waxay ka ciyaari kartaa wax qabad wanaagsan jawiga heerkulka aadka u daran, waxay ciyaari kartaa waxqabad ka hortag ah oo ka fiican xaalado kala duwan. Intaa waxaa dheer, waxay sidoo kale leedahay dabacsanaan wanaagsan oo aan si fudud u dhaawacmin kala-baxa iyo foorarsiga, taas oo si weyn u hagaajinaysa waxqabadkeeda.

● Iska caabbinta daxalka sare. Silicon carbide recrystallized waxay leedahay iska caabin sare oo daxalka u ah warbaahinta kala duwan, waxay ka hortagi kartaa nabaad-guurka warbaahinta kala duwan ee daxalka, waxay sii wadi kartaa sifooyinkeeda farsamaysan muddo dheer, waxay leedahay adhesion xoog leh, si ay u hesho nolol adeeg dheer. Intaa waxaa dheer, waxay sidoo kale leedahay xasillooni heerkuleed oo wanaagsan, waxay la qabsan kartaa isbeddellada heerkulka qaarkood, waxay hagaajinaysaa saameynteeda codsiga.

● Sintering ma yarayn. Sababtoo ah habka qallafsanaantu ma yarayn, wax walbahaarka haraaga ah ma keeni doono qallafsanaan ama dildilaaca alaabta, iyo qaybo leh qaabab adag iyo saxsanaan sare ayaa la diyaarin karaa.