Waa maxay shaqada doonta garaafyada ee PECVD?

Sida side wafers silicon caadiga ah in wax soo saarka ee habka daahan, ahdoon graphitewaxay leedahay maraqyo badan oo doon ah oo qaab-dhismeedkoodu u dhexeeyo, waxaana jira meel aad u cidhiidhi ah oo u dhaxaysa laba weel oo doon ah oo isku xiga, iyo maraqa silikoon ayaa la dhigayaa labada dhinac ee albaabka maran.

Sababtoo ah graphite, walxaha doonta graphite, waxay leedahay conductivity wanaagsan iyo kulaylka kuleylka, koronto AC ayaa lagu dabaqaa inta u dhaxaysa laba doomood oo isku xigta si ay u sameeyaan electrodes togan iyo kuwa taban. Marka uu jiro cadaadis hawo oo gaar ah iyo gaas qolka dhexdiisa, dareere dhalaal ayaa ka dhex dhaca labada doomood. Dheecaan dhalaalaya wuxuu dumin karaa SiH4 iyo NH3 gaaska meel bannaan, waxay sameeyaan Si iyo N ions, waxayna isku daraan si ay u sameeyaan molecules SiNx Waxaa lagu kaydiyaa dusha sare ee wafer silikoon si loo gaaro ujeedada daahan.

Sida side dahaarka lidka ku ah unugyada cadceedda, qaab dhismeedka iyo cabbirka doonta graphite waxay si toos ah u saameeyaan hufnaanta beddelka iyo waxtarka wax soo saarka ee wafer silikoon. Ka dib sanado badan oo cilmi baaris farsamo iyo horumarin ah, shirkadeena hadda waxay leedahay qalab wax soo saar sare leh, naqshadeeyayaasha tignoolajiyada qaan-gaarka ah iyo shaqaale khibrad leh oo wax soo saar leh, agabkuna waa alaab cayriin ah oo dibedda laga keeno. Waqtigan xaadirka ah, doonta graphite ee ay soo saartay shirkadeena waxay leedahay faa'iidooyinka waxtarka sare leh Qaabdhismeedka waa mid fudud oo masaafada u dhaxaysa doonta graphite waa mid macquul ah, taas oo ka dhigaysa daahanka dharka silikoon lebbiska, waxay wanaajisaa tayada wafer silikoon, oo ka dhigaysa. waxtarka beddelka tamarta qorraxda sare. Shirkadda Shijin waxa ay haysaa dhammaan doomaha khad ee ay suuqu hadda u baahan tahay

21


Waqtiga boostada: Abriil-08-2021
WhatsApp Online chat!