Qaab dhismeedka gudaha ee qalabka tubbada foornada ayaa si faahfaahsan loo sharaxay

Sida kor ku cad, waa wax caadi ah

Qeybtii hore:
Cunsurka Kuleyliyaha (gariiradda kuleylka): waxay ku taal agagaarka tuubada foornada, oo badanaa laga sameeyo fiilooyinka iska caabbinta, loo isticmaalo in lagu kululeeyo gudaha tuubada foornada.
Quartz Tube: Xuddunta foornada oksaydhka kulul, oo ka samaysan quartz saafi ah oo sarreeya oo adkaysan kara heerkulka sare oo aan kiimikaad ahaan shaqayn.
Quudinta Gaaska: Waxay ku taal xagga sare ama dhinaca tuubada foornada, waxaa loo isticmaalaa in lagu qaado ogsijiinta ama gaasaska kale ee gudaha tuubada foornada.
SS Flange: qaybaha isku xidha tuubooyinka quartz iyo xadhkaha gaasta, hubinta cidhiidhiga iyo xasiloonida xidhiidhka.
Khadadka Quudinta Gaaska: Dhuumaha ku xira MFC-da iyo dekedda sahayda gaaska ee gudbinta gaaska.
MFC (Mass Flow Controller): Waa qalab koontaroolaya socodka gaaska gudaha tuubada quartz si uu si sax ah u habeeyo cadadka gaaska loo baahan yahay.
Hawo-mareen: Waxaa loo isticmaalaa in gaaska qiiqa laga soo saaro gudaha tuubada foornada ilaa dibadda qalabka.

Qaybta hoose
Waferrada Silikoonka ee Ku jira Haye: Waferrada Silikoon waxa lagu hayaa Hayste gaar ah si loo hubiyo kulayl isku mid ah inta lagu jiro oksaydhka.
Qabashada Wafer: Waxaa loo isticmaalaa in lagu qabto maraqa silikoon iyo in la hubiyo in maraqa silikoonku uu ahaado mid deggan inta lagu jiro hawsha.
Pedestal: Qaab dhismeed haya Haysta wafer Silicon, oo badanaa ka samaysan walxo heerkul sare leh.
Wiish: Waxaa loo isticmaalaa in lagu qaado kuwa haysta Wafer gudaha lagana saarayo tuubooyinka quartz si otomaatig ah loo raro loona dejiyo maraqa silikoon.
Robot Wareejinta Wafer: wuxuu ku yaalaa dhinaca qalabka tubbada foornada, waxaa loo isticmaalaa in si toos ah looga saaro wafer silikoon sanduuqa oo lagu dhejiyo tuubada foornada, ama ka saar ka dib markii la farsameeyo.
Kaydinta Cassette Carousel: Kaydka cajaladaha waxaa loo isticmaalaa in lagu kaydiyo sanduuq ay ku jiraan weelal silikoon waxaana loo rogi karaa helitaanka robot.
Cassette Wafer: cajalka wafer waxaa loo isticmaalaa in lagu kaydiyo laguna wareejiyo maraqa silikoon si loo farsameeyo.