Waxaan hadda haysanaa shaqaale tayo sare leh oo wax ka qabta weydiimaha macaamiisha. Hadafkayagu waa "100% buuxinta macaamilka ee alaabtayada ama adeegayagu waa mid aad u fiican, iibinta qiimaha iyo adeegayaga shaqaalaha" oo aan ku raaxayno caannimada weyn ee macaamiisha dhexdooda. Iyada oo leh warshado badan, waxaan ku siin karnaa noocyo kala duwan oo qiimo jaban ah GaN-Basedepitaxial oo ku yaal Sic Substrates 4′′, Waxaan si diiran u soo dhaweyneynaa saaxiibada ganacsiga yar yar ee ka kala socda dhammaan qeybaha kala duwan ee qaab nololeedka, waxaan rajeyneynaa in aan aasaasno ganacsi saaxiibtinimo iyo iskaashi la samee xiriir adiga oo aan gaarno hadaf guul-guulaysi.
Waxaan hadda haysanaa shaqaale tayo sare leh oo wax ka qabta weydiimaha macaamiisha. Hadafkayagu waa "100% buuxinta macaamilka ee alaabtayada ama adeegayagu waa mid aad u fiican, iibinta qiimaha iyo adeegayaga shaqaalaha" oo aan ku raaxayno caannimada weyn ee macaamiisha dhexdooda. Iyada oo leh warshado badan, waxaan ku siin karnaa noocyo kala duwan oo kala duwanChina GaN Substrates iyo Filimka GaN, Waxaan si daacad ah u rajeyneynaa inaan la shaqeyno macaamiisha adduunka oo dhan. Waxaan aaminsanahay inaan kugu qancin karno alaabtayada tayada sare leh iyo adeegga ugu fiican . Waxaan sidoo kale si diiran u soo dhaweyneynaa macaamiisha inay soo booqdaan shirkadeena oo ay iibsadaan alaabtayada.

SiC dahaarka garaafka MOCVD Wafer sidayaal

Dhammaan kuwa dhibbanayaashayadu waxay ka samaysan yihiin garaafka isostatic-ga xoogga sare leh. Ka faa'iidayso nadiifnimada sare ee garaafyadayada - oo loo sameeyay gaar ahaan hababka adag sida epitaxy, koritaanka crystal, implantation iyo plazma etching, iyo sidoo kale soosaarka chips LED.

Sharaxaada Alaabta
Daahan SiC ee substrate-ka Graphite ee codsiyada Semiconductor waxay soo saartaa qayb leh nadiifnimo sare iyo iska caabin u ah jawiga oksaydhka.
CVD SiC ama CVI SiC waxaa lagu dabaqaa Graphite qaybo naqshadeed fudud ama kakan. Dahaarka waxaa lagu dabaqi karaa dhumucyo kala duwan iyo qaybo aad u ballaaran.

Compon

Faa'iidooyinka gaarka ah ee kuwa siciga-dahaarka leh ee susceptors-garafeedka waxaa ka mid ah nadiif aad u sarreeya, daahan isku mid ah iyo nolol adeeg oo aad u wanaagsan. Waxay sidoo kale leeyihiin iska caabin sare oo kiimiko ah iyo sifooyin xasilloon oo kulaylka.

Waxaan ilaalinaa dulqaad aad u dhow marka la adeegsanaayo daahan SiC, anagoo adeegsanayna mashiin sax ah oo sax ah si aan u hubinno astaanta suulaha labbiska ah. Waxaan sidoo kale soo saarnaa alaab leh sifooyin iska caabin koronto oo ku habboon si loogu isticmaalo nidaamyada kuleyliyaha firfircoon. Dhammaan qaybaha la dhammeeyey waxay la yimaadaan shahaado nadiif ah iyo cabbir cabbir.

Codsiga:

Astaamaha:
Caabbinta naxdinta kulaylka ee heer sare ah
Iska caabin naxdin jidheed oo heersare ah
· Iska caabin Kiimiko oo heersare ah
Nadiifinta Sare ee Sare
Helitaanka qaab isku dhafan
Waxaa lagu isticmaali karaa hoostiisa Oxidizing AtmosphereAstaamaha Caadiga ah ee Qalabka Garaafiga ee Saldhigga:

Waxaan hadda haysanaa shaqaale tayo sare leh oo wax ka qabta weydiimaha macaamiisha. Hadafkayagu waa "100% buuxinta macaamilka ee alaabtayada ama adeegayagu waa mid aad u fiican, iibinta qiimaha iyo adeegayaga shaqaalaha" oo aan ku raaxayno caannimada weyn ee macaamiisha dhexdooda. Iyada oo leh warshado badan, waxaan ku siin karnaa noocyo kala duwan oo qiimo jaban ah GaN-Basedepitaxial oo ku yaal Sic Substrates 4′′, Waxaan si diiran u soo dhaweyneynaa saaxiibada ganacsiga yar yar ee ka kala socda dhammaan qeybaha kala duwan ee qaab nololeedka, waxaan rajeyneynaa in aan aasaasno ganacsi saaxiibtinimo iyo iskaashi la samee xiriir adiga oo aan gaarno hadaf guul-guulaysi.
Qiimaha jabanChina GaN Substrates iyo Filimka GaN, Waxaan si daacad ah u rajeyneynaa inaan la shaqeyno macaamiisha adduunka oo dhan. Waxaan aaminsanahay inaan kugu qancin karno alaabtayada tayada sare leh iyo adeegga ugu fiican . Waxaan sidoo kale si diiran u soo dhaweyneynaa macaamiisha inay soo booqdaan shirkadeena oo ay iibsadaan alaabtayada.