VET Energy uporablja ultra visoko čistostsilicijev karbid (SiC)nastane s kemičnim nanašanjem iz pare(KVB)kot izvorni material za gojenjeSiC kristalis fizičnim transportom hlapov (PVT). Pri PVT se izvorni material naloži v alončekin sublimirana na kalilni kristal.
Za proizvodnjo visoke kakovosti je potreben vir visoke čistostiSiC kristali.
VET Energy je specializirano za zagotavljanje SiC z velikimi delci za PVT, ker ima večjo gostoto kot material z majhnimi delci, ki nastane s spontanim vžigom plinov, ki vsebujejo Si in C. Za razliko od sintranja v trdni fazi ali reakcije Si in C ne zahteva namenske peči za sintranje ali zamudnega koraka sintranja v peči za rast. Ta material z velikimi delci ima skoraj konstantno stopnjo izhlapevanja, kar izboljšuje enakomernost med serijami.
Uvod:
1. Pripravite vir blokov CVD-SiC: Najprej morate pripraviti visokokakovosten vir blokov CVD-SiC, ki je običajno visoke čistosti in visoke gostote. To je mogoče pripraviti z metodo kemičnega naparjevanja (CVD) pod ustreznimi reakcijskimi pogoji.
2. Priprava podlage: Izberite ustrezen substrat kot substrat za rast monokristala SiC. Običajno uporabljeni substratni materiali vključujejo silicijev karbid, silicijev nitrid itd., ki se dobro ujemajo z rastočim monokristalom SiC.
3. Ogrevanje in sublimacija: Bločni izvor in substrat CVD-SiC postavite v visokotemperaturno peč in zagotovite ustrezne pogoje sublimacije. Sublimacija pomeni, da se pri visoki temperaturi vir bloka neposredno spremeni iz trdnega v stanje pare in nato ponovno kondenzira na površini substrata, da tvori en kristal.
4. Nadzor temperature: Med postopkom sublimacije je treba temperaturni gradient in porazdelitev temperature natančno nadzorovati, da se spodbudi sublimacija vira blokov in rast monokristalov. Ustrezen nadzor temperature lahko doseže idealno kakovost kristalov in hitrost rasti.
5. Nadzor atmosfere: Med postopkom sublimacije je treba nadzorovati tudi reakcijsko atmosfero. Inertni plin visoke čistosti (kot je argon) se običajno uporablja kot nosilni plin za vzdrževanje ustreznega tlaka in čistosti ter preprečevanje kontaminacije z nečistočami.
6. Rast posameznega kristala: Bločni vir CVD-SiC je med postopkom sublimacije podvržen prehodu parne faze in ponovno kondenzira na površini substrata, da tvori enokristalno strukturo. Hitro rast monokristalov SiC je mogoče doseči z ustreznimi pogoji sublimacije in nadzorom temperaturnega gradienta.
Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!
