Susceptor potiahnutý TaC pre zariadenie na epitaxiu

Krátky popis:

VET poskytuje špecializované povlaky z karbidu tantalu (TaC) pre rôzne komponenty a nosiče. Popredný proces povlakovania VET umožňuje povlakom z karbidu tantalu (TaC) dosiahnuť vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú toleranciu, zlepšiť kvalitu produktu kryštálov SIC/GAN a EPI vrstiev a predĺžiť životnosť kľúčových komponentov reaktora. Použitie povlaku karbidu tantalu TaC má vyriešiť problém s okrajmi a zlepšiť kvalitu rastu kryštálov a VET prelomovo vyriešilo technológiu povlaku karbidu tantalu (CVD), čím sa dosiahla medzinárodná pokročilá úroveň.


Detail produktu

Štítky produktu

potiahnutá TaCsubstrát je tenký film vyrobený zkarbid tantalumateriál, ktorý sa nanáša na povrch substrátu epitaxiálneho zariadenia.TaC povlakmá mnoho vynikajúcich vlastností, vďaka čomu je ideálnou voľbou.

Povlak TaC je druh povlaku karbidu tantalu (TaC) pripravený technológiou fyzikálneho nanášania pár, má nasledujúce vlastnosti:

1. Vysoká tvrdosť: Tvrdosť povlaku TaC je vysoká, zvyčajne môže dosiahnuť 2500-3000 HV, je to vynikajúci tvrdý povlak.

2. Odolnosť proti opotrebovaniu: TaC povlak je veľmi odolný proti opotrebovaniu, čo môže účinne znížiť opotrebovanie a poškodenie mechanických častí počas používania.

3. Dobrá odolnosť voči vysokej teplote: TaC povlak si môže zachovať svoj vynikajúci výkon aj v prostredí s vysokou teplotou.

4. Dobrá chemická stabilita: TaC povlak má dobrú chemickú stabilitu a môže odolávať mnohým chemickým reakciám, ako sú kyseliny a zásady.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fyzikálne vlastnosti TaC náter

密度/ Hustota

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Špecifická emisivita

0,3

热膨胀系数 / Koeficient tepelnej rozťažnosti

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Tvrdosť (HK)

2000 HK

电阻 / Odpor

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Tepelná stabilita

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Zmeny veľkosti grafitu

-10~-20um

涂层厚度 / Hrúbka povlaku

≥20um typická hodnota (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je high-tech podnik so zameraním na výrobu a predaj špičkových pokročilých materiálov, materiálov a technológií pokrývajúcich grafit, karbid kremíka, keramiku, povrchovú úpravu atď. Výrobky sú široko používané vo fotovoltaike, polovodičoch, novej energetike, metalurgii atď.

Náš technický tím pochádza zo špičkových domácich výskumných inštitúcií, môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Srdečne vás vítame na návšteve našej továrne, poďme ďalej diskutovať!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Predchádzajúce:
  • Ďalej:

  • WhatsApp online chat!