SiC Wafer Boat/Tower

Detail produktu

ProduktDopis

Oblátkové člny z karbidu kremíka sa široko používajú ako držiak plátkov pri vysokoteplotnom difúznom procese.

Výhody:

Odolnosť voči vysokej teplote:normálne použitie pri 1800 ℃

Vysoká tepelná vodivosť:ekvivalentné s grafitovým materiálom

Vysoká tvrdosť:tvrdosť na druhom mieste za diamantom, nitridom bóru

Odolnosť proti korózii:silné kyseliny a zásady nemajú koróziu, odolnosť proti korózii je lepšia ako karbid volfrámu a oxid hlinitý

Nízka hmotnosť:nízka hustota, blízka hliníku

Žiadna deformácia: nízky koeficient tepelnej rozťažnosti

Odolnosť voči tepelným šokom:dokáže vydržať prudké zmeny teploty, odolávať teplotným šokom a má stabilný výkon

Fyzikálne vlastnosti SiC

Nehnuteľnosť	Hodnota	Metóda
Hustota	3,21 g/cm3	Sink-float a rozmer
Špecifické teplo	0,66 J/g °K	Impulzný laserový blesk
Pevnosť v ohybe	450 MPa560 MPa	4-bodový ohyb, RT4 bodový ohyb, 1300°
Lomová húževnatosť	2,94 MPa m1/2	Mikroindentácia
Tvrdosť	2800	Vicker's, záťaž 500 g
Elastický modulYoungov modul	450 GPa 430 GPa	4 pt ohyb, RT4 pt ohyb, 1300 °C
Veľkosť zrna	2 – 10 um	SEM

Tepelné vlastnosti SiC

Tepelná vodivosť	250 W/m °K	Metóda laserového blesku, RT
Tepelná expanzia (CTE)	4,5 x 10-6 °K	Izbová teplota do 950 °C, dilatometer oxidu kremičitého