Grafitové nosiče doštičiek MOCVD s povlakom SiC, grafitové susceptory pre epitaxiu SiC,
-SiCGraphiteWafer, Uhlík dodáva susceptory, epitaxné susceptory, Grafit dodáva susceptory, Grafitové doštičkové susceptory, https://www.vet-china.com/sic-coating-graphite-mocvd-wafer-carriers-2.html#:~:text=SicGraphiteSusceptors-, SicGraphiteTrays,

Povlak CVD-SiC má charakteristiky jednotnej štruktúry, kompaktného materiálu, odolnosti voči vysokej teplote, odolnosti voči oxidácii, vysokej čistoty, odolnosti voči kyselinám a zásadám a organického činidla so stabilnými fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami.

V porovnaní s grafitovými materiálmi s vysokou čistotou začína grafit oxidovať pri 400 °C, čo spôsobí stratu prášku v dôsledku oxidácie, čo má za následok znečistenie životného prostredia periférnych zariadení a vákuových komôr a zvýšenie nečistôt v prostredí s vysokou čistotou.

Povlak SiC však môže udržiavať fyzikálnu a chemickú stabilitu pri 1600 stupňoch, je široko používaný v modernom priemysle, najmä v polovodičovom priemysle.

Naša spoločnosť poskytuje služby procesu poťahovania SiC metódou CVD na povrchu grafitu, keramiky a iných materiálov tak, že špeciálne plyny obsahujúce uhlík a kremík reagujú pri vysokej teplote za vzniku vysoko čistých molekúl SiC, molekúl usadených na povrchu poťahovaných materiálov, vytvára ochrannú vrstvu SIC. Vytvorený SIC je pevne spojený s grafitovou základňou, čo dáva grafitovej základni špeciálne vlastnosti, vďaka čomu je povrch grafitu kompaktný, bez pórovitosti, odolný voči vysokej teplote, korózii a oxidácii.

Hlavné vlastnosti:

1. Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote:

odolnosť proti oxidácii je stále veľmi dobrá, keď je teplota až 1700 C.

2. Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár za podmienok vysokoteplotnej chlorácie.

3. Odolnosť proti erózii: vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.

4. Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.

Hlavné špecifikácie povlakov CVD-SIC:

Schopnosť zásobovania:

10 000 kusov/kusov za mesiac
Balenie a dodanie:
Balenie: Štandardné a silné balenie
Poly bag + krabica + kartón + paleta
Port:
Ningbo/Shenzhen/Šanghaj
Dodacia lehota: