RTP/RTA SiC povlakový nosič pre MOCVD epitaxný rast

Stručný popis:

VET Energy RTP/RTA SiC Coating Carrier je vysokovýkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon po dlhšiu dobu. Má super dobrú tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu, odolnosť proti erózii, vďaka čomu je dokonalým riešením pre aplikácie na spracovanie plátkov.


  • Miesto pôvodu:Čína
  • Kryštálová štruktúra:FCCβ fáza
  • hustota:3,21 g/cm
  • Tvrdosť:2500 Vickers
  • Veľkosť zrna:2 ~ 10 μm
  • Chemická čistota:99,99995 %
  • Tepelná kapacita:640J·kg-1·K-1
  • Teplota sublimácie:2700 ℃
  • Felexurálna sila:415 Mpa (RT 4-bodová)
  • Youngov modul:430 Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)
  • Tepelná expanzia (CTE):4,5 10-6K-1
  • Tepelná vodivosť:300 (W/MK)
  • Detail produktu

    Štítky produktu

    SiC Coating Carrier Pre RTP/RTA je kľúčový komponent používaný v procesoch výroby polovodičov nazývaných Rapid Thermal Processing & Annealing, na výrobu nosiča z karbidu kremíka s extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou používame našu patentovanú technológiu. ako aj vysokú chemickú odolnosť a tepelnú stabilitu.

    Vlastnosti našich produktov:

    1. Vysoká teplotná odolnosť proti oxidácii až do 1700 ℃.
    2. Vysoká čistota a tepelná rovnomernosť
    3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.

    4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
    5. Dlhšia životnosť a odolnejšia

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter

    性质 / Nehnuteľnosť

    典型数值 / Typická hodnota

    晶体结构 / Kryštálová štruktúra

    FCC β fáza多晶,主要为(111)取向

    密度 / Hustota

    3,21 g/cm³

    硬度 / Tvrdosť

    2500 维氏硬度(500g náplň)

    晶粒大小 / Veľkosť zrna

    2 ~ 10 μm

    纯度 / Chemická čistota

    99,99995 %

    热容 / Tepelná kapacita

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Teplota sublimácie

    2700 ℃

    抗弯强度 / Pevnosť v ohybe

    415 MPa RT 4-bod

    杨氏模量 / Youngov modul

    Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalVodivosť

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Tepelná expanzia (CTE)

    4,5 × 10-6K-1

    1

    2

    VET Energy je skutočným výrobcom prispôsobených produktov z grafitu a karbidu kremíka s rôznymi povlakmi, ako je povlak SiC, povlak TaC, povlak zo skleneného uhlíka, povlak pyrolytického uhlíka atď., Môže dodávať rôzne prispôsobené diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel.

    Náš technický tím pochádza zo špičkových domácich výskumných inštitúcií, môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

    Neustále vyvíjame pokročilé procesy na poskytovanie pokročilejších materiálov a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, vďaka ktorej je spojenie medzi náterom a substrátom pevnejšie a menej náchylné na oddelenie.

    Srdečne vás vítame na návšteve našej továrne, poďme ďalej diskutovať!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Predchádzajúce:
  • Ďalej:

  • WhatsApp online chat!