SiC කුඩු වල සංශුද්ධතාවය PVT ක්‍රමය මගින් වගා කරන SiC තනි ස්ඵටිකයේ ගුණාත්මක භාවයට සහ ක්‍රියාකාරීත්වයට සෘජුවම බලපානු ඇති අතර SiC කුඩු සකස් කිරීම සඳහා අමුද්‍රව්‍ය වන්නේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් Si කුඩු සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවය C කුඩු වන අතර C කුඩු වල සංශුද්ධතාවය සෘජුවම බලපානු ඇත. SiC කුඩු වල සංශුද්ධතාවය.
ටෝනර් නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කරන අමුද්‍රව්‍ය සාමාන්‍යයෙන් ෆ්ලේක් ග්රැෆයිට්, පෙට්‍රෝලියම් කෝක් සහ ක්ෂුද්‍ර ස්ඵටික ගල් තීන්ත ඇතුළත් වේ. මිනිරන්වල සංශුද්ධතාවය වැඩි වන තරමට භාවිත අගය වැඩි වේ. ග්රැෆයිට් පිරිසිදු කිරීමේ ක්රම භෞතික ක්රම සහ රසායනික ක්රම ලෙස බෙදිය හැකිය. භෞතික පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රමවලට ෆ්ලෝටේෂන් සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව පිරිපහදු කිරීම් ඇතුළත් වන අතර රසායනික පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රමවලට අම්ල-පාදක ක්‍රමය, හයිඩ්‍රොෆ්ලෝරික් අම්ල ක්‍රමය සහ ක්ලෝරයිඩ් රෝස් කිරීමේ ක්‍රමය ඇතුළත් වේ. ඒවා අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රමයට 4N5 සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවය ලබා ගැනීම සඳහා මිනිරන්වල ඉහළ ද්‍රවාංකය (3773K) සහ තාපාංකය භාවිතා කළ හැකි අතර, එහි අරමුණ සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වාෂ්පීකරණය හා අඩු තාපාංක සහිත අපද්රව්ය විමෝචනය කිරීම ඇතුළත් වේ. පිරිසිදු කිරීම [6]. ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ ටෝනර් වල ප්රධාන තාක්ෂණය වන්නේ අපද්රව්ය ඉවත් කිරීමයි. රසායනික පිරිපහදු කිරීමේ සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව පිරිසිදු කිරීමේ ලක්ෂණ සමඟ ඒකාබද්ධව, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටෝනර් ද්රව්ය පිරිසිදු කිරීම සඳහා අද්විතීය ඛණ්ඩිත සංයුක්ත ඉහළ උෂ්ණත්ව තාප රසායනික පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රියාවලියක් අනුගමනය කරන අතර නිෂ්පාදන සංශුද්ධතාවය 6N ට වඩා වැඩි විය හැකිය.
නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය සහ විශේෂාංග:
1, නිෂ්පාදන සංශුද්ධතාවය≥99.9999% (6N);
2, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් කාබන් කුඩු ස්ථායීතාවය, ඉහළ ග්රැෆිටේෂන් මට්ටම, අඩු අපද්රව්ය;
3, කැටිති සහ වර්ගය භාවිතා කරන්නන් අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැක.
නිෂ්පාදනයේ ප්රධාන භාවිතයන්:
■ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC කුඩු සහ අනෙකුත් ඝන අදියර කෘතිම කාබයිඩ් ද්රව්ය සංශ්ලේෂණය
■ දියමන්ති වගා කරන්න
■ ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන සඳහා නව තාප සන්නායකතා ද්රව්ය
■ ඉහළ මට්ටමේ ලිතියම් බැටරි කැතෝඩ ද්රව්ය
■ වටිනා ලෝහ සංයෝග ද අමුද්‍රව්‍ය වේ
