SiC ආෙල්පන මිනිරන් MOCVD වේෆර් වාහක, ග්රැෆයිට් සසෙප්ටර් සඳහාSiC Epitaxy,
කාබන් සැපයුම් susceptors, Graphite epitaxy susceptors, ග්රැෆයිට් ආධාරක උපස්ථර, MOCVD Susceptor, SiC Epitaxy, වේෆර් අනුකාරක,
අපගේ SiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් susceptors හි විශේෂ වාසි අතර අතිශයින්ම ඉහල සංශුද්ධතාවය, සමජාතීය ආලේපනය සහ විශිෂ්ට සේවා කාලය ඇතුළත් වේ. ඒවාට ඉහළ රසායනික ප්රතිරෝධයක් සහ තාප ස්ථායී ගුණාංග ද ඇත.
අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා ග්රැෆයිට් උපස්ථරයේ SiC ආලේපනය උසස් සංශුද්ධතාවය සහ ඔක්සිකාරක වායුගෝලයට ප්රතිරෝධය සහිත කොටසක් නිපදවයි.
CVD SiC හෝ CVI SiC සරල හෝ සංකීර්ණ සැලසුම් කොටස්වල Graphite සඳහා යොදනු ලැබේ. විවිධ ඝනකම් සහ ඉතා විශාල කොටස් වලට ආලේපනය යෙදිය හැක.
විශේෂාංග:
· විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්රතිරෝධය
· විශිෂ්ට භෞතික කම්පන ප්රතිරෝධය
· විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධය
· සුපිරි ඉහළ සංශුද්ධතාවය
· සංකීර්ණ හැඩයෙන් ලබා ගත හැක
· ඔක්සිකාරක වායුගෝලය යටතේ භාවිතා කළ හැක
යෙදුම:
මූලික ග්රැෆයිට් ද්රව්යයේ සාමාන්ය ගුණාංග:
පෙනෙන ඝනත්වය: | 1.85 g/cm3 |
විද්යුත් ප්රතිරෝධය: | 11 μΩm |
Flexural Strenth: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
වෙරළ තද බව: | 58 |
අළු: | <5ppm |
තාප සන්නායකතාව: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
කාබන් සැපයුම් susceptorsසහ සියලුම වත්මන් epitaxy ප්රතික්රියාකාරක සඳහා මිනිරන් සංරචක. අපගේ කළඹට ව්යවහාරික සහ LPE ඒකක සඳහා බැරල් susceptors, LPE, CSD, සහ Gemini ඒකක සඳහා පෑන්කේක් susceptors, සහ ව්යවහාරික සහ ASM ඒකක සඳහා තනි වේෆර් susceptors ඇතුළත් වේ. ඔබගේ යෙදුම සඳහා ප්රශස්ත නිර්මාණයක් ඉදිරිපත් කරයි.