VET බලශක්තිPECVD ක්‍රියාවලි මිනිරන් වාහකය යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩිදියුණු කරන ලද රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම) ක්‍රියාවලිය සඳහා සකස් කරන ලද උසස් තත්ත්වයේ පරිභෝජන ද්‍රව්‍යයකි. මෙම මිනිරන් වාහකය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, අධි-ඝනත්ව මිනිරන් ද්‍රව්‍යයකින් සාදා ඇති අතර, විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායීතාවයක් සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ සහිතව, තුනී පටලවල ඒකාකාරිත්වය සහ සමතලා බව සහතික කිරීම සඳහා PECVD ක්‍රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර වාහක වේදිකාවක් සැපයිය හැකිය. තැන්පත් වීම.
PECVD ක්‍රියාවලිය සඳහා ග්රැෆයිට් වාහකයන්ට පහත ලක්ෂණ ඇත:
▪ ඉහළ සංශුද්ධතාවය: අතිශයින් අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතය, චිත්‍රපටය දූෂණය වීම වැළැක්වීම සහ චිත්‍රපටයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.
▪ අධික ඝනත්වය: අධික ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, ඉහළ උෂ්ණත්වයට සහ අධි පීඩන PECVD පරිසරයට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව.
▪ හොඳ මාන ස්ථායීතාව: ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී කුඩා මාන වෙනසක්, ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව සහතික කිරීම.
▪ විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාව: වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා ඵලදායී ලෙස තාපය මාරු කිරීම.
▪ ශක්තිමත් විඛාදන ප්රතිරෝධය: විවිධ විඛාදන වායූන් සහ ප්ලාස්මා මගින් ඛාදනය වීමට ප්රතිරෝධය දැක්වීමට හැකියාව ඇත.
▪ අභිරුචිකරණය කළ සේවාව: විවිධ ප්‍රමාණවලින් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් මිනිරන් වාහකයන් පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැක.
SGL වෙතින් ග්රැෆයිට් ද්රව්ය:
| සාමාන්ය පරාමිතිය: R6510 | |||
| දර්ශකය | පරීක්ෂණ සම්මතය | වටිනාකම | ඒකකය |
| සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය | ISO 13320 | 10 | μm |
| තොග ඝනත්වය | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| විවෘත සිදුරු | DIN66133 | 10 | % |
| මධ්යම සිදුරු ප්රමාණය | DIN66133 | 1.8 | μm |
| පාරගම්යතාව | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| රොක්වෙල් දෘඪතාව HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| නිශ්චිත විද්යුත් ප්රතිරෝධය | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Flexural ශක්තිය | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| සම්පීඩන ශක්තිය | DIN 51910 | 130 | MPa |
| තරුණ මාපාංකය | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| තාප ප්‍රසාරණය (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| තාප සන්නායකතාවය (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
එය විශේෂයෙන්ම G12 විශාල ප්‍රමාණයේ වේෆර් සැකසුම් සඳහා සහය වන ඉහළ කාර්යක්ෂම සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. ප්‍රශස්ත වාහක සැලසුම ප්‍රතිදානය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි, ඉහළ අස්වැන්න අනුපාත සහ අඩු නිෂ්පාදන පිරිවැය සක්‍රීය කරයි.
| අයිතමය | ටයිප් කරන්න | අංක වේෆර් වාහකය |
| PEVCD Grephite බෝට්ටුව - 156 මාලාව | 156-13 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 144 |
| 156-19 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 216 | |
| 156-21 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 240 | |
| 156-23 මිනිරන් බෝට්ටුව | 308 | |
| PEVCD Grephite බෝට්ටුව - 125 මාලාව | 125-15 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 196 |
| 125-19 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 252 | |
| 125-21 ග්රැෆයිට් බෝට්ටුව | 280 |
-
Graphite Heaters මිනිරන් තාපන මූලද්රව්ය Cust...
-
ඉහළ සංශුද්ධතාවය ඉහළ උෂ්ණත්ව නම්යශීලී මිනිරන් ...
-
සමස්ථිතික ග්රැෆයිට් සහ විශේෂ ග්රැෆයිට් බ්ලොක් යූ...
-
තනි ස්ඵටික ඇඳීම් උදුනෙහි උණුසුම් ක්ෂේත්ර පද්ධතිය
-
බැටරි ඉලෙක්ට්රෝඩ සඳහා ග්රැෆයිට් කඩදාසි අල්ට්රා-ති...
-
කාබන් මිනිරන් දරණ අත් දිගු කල් පවතින මිනිරන්...