Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorතැන්පතු හෝ Epitaxy ක්‍රියාවලි වැනි නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හිදී අර්ධ සන්නායක උපස්ථර රඳවා තබා ගැනීමට සහ රත් කිරීමට භාවිතා කරන විෙශේෂෙයන් නිර්මාණය කරන ලද ආධාරක සහ තාපන උපකරණයකි.

එහි ව්‍යුහයට සාමාන්‍යයෙන් සිලින්ඩරාකාර හෝ තරමක් බැරල් හැඩැති, මතුපිට ලක්ෂණ බහු සාක්කු හෝ වේෆර් තැබීම සඳහා වේදිකා ඇතුළත් වේ, උනුසුම් ක්‍රමය මත පදනම්ව ඝන හෝ හිස් මෝස්තරයක් විය හැකිය.

epitaxial බැරල් susceptor හි ප්රධාන කාර්යයන්:

-උපස්ථර සහාය: බහු අර්ධ සන්නායක වේෆර් ආරක්ෂිතව රඳවා තබා ගනී;
- තාප ප්රභවය: උණුසුම හරහා වර්ධනය සඳහා අවශ්ය ඉහළ උෂ්ණත්වයන් සපයයි;
-උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය: උපස්ථරවල ඒකාකාර උණුසුම සහතික කරයි;
-භ්රමණය: උෂ්ණත්වය සහ වායු බෙදා හැරීමේ ඒකාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වර්ධනය අතරතුර සාමාන්යයෙන් භ්රමණය වේ.

එපි ග්රැෆයිට් බැරල් ග්රාහකයේ ක්රියාකාරී මූලධර්මය:
- epitaxial ප්‍රතික්‍රියාකාරකයේදී, බැරල් susceptor අවශ්‍ය උෂ්ණත්වයට රත් කරනු ලැබේ (සාමාන්‍යයෙන් 1000℃-1200℃ silicon epitaxy සඳහා);
-ඒකාකාරී උෂ්ණත්ව ව්යාප්තිය සහ වායු ප්රවාහය සහතික කිරීම සඳහා බැරල් susceptor භ්රමණය වේ;
-ප්‍රතික්‍රියා වායූන් ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී දිරාපත් වී උපස්ථර මතුපිට එපිටාක්සියල් ස්ථර සාදයි.

යෙදුම්:
- මූලික වශයෙන් සිලිකන් එපිටාක්සියල් වර්ධනය සඳහා භාවිතා වේ
-GAs, InP, වැනි අනෙකුත් අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍යවල epitaxy සඳහාද අදාළ වේ.

VET බලශක්තිය රසායනික ස්ථායීතාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා CVD-SiC ආලේපනය සමඟ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මිනිරන් භාවිතා කරයි:

VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor හි වාසි:

- ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව;
- හොඳ තාප ඒකාකාරිත්වය;
- බහු උපස්ථර එකවර සැකසිය හැක, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම;
-රසායනික වශයෙන් නිෂ්ක්‍රීය, ඉහළ සංශුද්ධතා වර්ධන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම.