CVD TaC ආලේපිත තහඩු ග්‍රාහකය

කෙටි විස්තරය:

VET Energy CVD TaC ආලේපිත තහඩු susceptor යනු දිගු කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්ය සාධන නිෂ්පාදනයකි. එය සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදනය ප්‍රතිරෝධය ඇත, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුමක් බවට පත් කරයි.


නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

CVD TaC ආලේප කර ඇතVet-china වෙතින් Plate Susceptor රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) ක්‍රියාවලීන්හි ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. මෙම susceptor ශක්තිමත් ලක්ෂණයකිTaC (ටැන්ටලම් කාබයිඩ්) ආලේපනය, සුවිශේෂී තාප ස්ථායීතාව, රසායනික ප්‍රතිරෝධය සහ කල්පැවැත්ම ලබා දීම, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සහ අධි-උෂ්ණත්ව යෙදුම් සඳහා කදිම විසඳුමක් බවට පත් කරයි. දCVD TaC ආලේපනයඔක්සිකරණයට සහ ඇඳීමට විශිෂ්ට ප්‍රතිරෝධයක් සහතික කරයි, රළු පරිසරවල එහි අඛණ්ඩතාව සහ ක්‍රියාකාරිත්වය පවත්වා ගැනීමට ග්‍රාහකයට ඉඩ සලසයි.

vet-china ගේCVD TaC ආලේප කර ඇතCVD ක්‍රියාවලීන්හිදී තාපය ඒකාකාරව බෙදා හැරීමේ හැකියාව, නිශ්චිත ස්ථර තැන්පත් වීම සහතික කිරීම සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කිරීම සඳහා Plate Susceptor කැපී පෙනේ. Ta-C ආලේපනය රසායනික විඛාදනයට එරෙහිව අතිරේක ආරක්ෂාවක් සපයයි, susceptor හි ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම සහ සමස්ත කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කිරීම. උසස් CVD susceptor තාක්‍ෂණයේ සහ උසස් තත්ත්වයේ TaC රසායනික ආලේපනවල එකතුවක් සමඟින්, මෙම susceptor ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය අවශ්‍ය කර්මාන්ත සඳහා ප්‍රධාන අංගයකි.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී හෝ වෙනත් අධි තාක්‍ෂණික යෙදුම් නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කළත්,CVD TaC ආලේපිත ප්ලේට් සසෙප්ටරයනවීන නිෂ්පාදන අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. නවෝත්පාදන සහ ගුණාත්මක භාවය සඳහා Semicera හි කීර්ති නාමයෙන් පිටුබලය ලබන මෙම නිෂ්පාදනය CVD ක්‍රියාවලීන් සඳහා විශ්වාසදායක තේරීමක් කරමින් උසස් කාර්ය සාධනයක් සහ දිගු කල් පවතින බවක් ලබා දෙයි.

TaC ආලේපනය යනු භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණය මගින් සකස් කරන ලද ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපනයකි, එයට පහත ලක්ෂණ ඇත:

1. ඉහළ දෘඪතාව: TaC ආෙල්පන දෘඪතාව ඉහළයි, සාමාන්යයෙන් 2500-3000HV දක්වා ළඟා විය හැක, විශිෂ්ට දෘඩ ආලේපනයකි.

2. ප්‍රතිරෝධය පළඳින්න: TaC ආලේපනය ඉතා ඇඳුම්-ප්‍රතිරෝධී වන අතර, එය භාවිතා කිරීමේදී යාන්ත්‍රික කොටස්වල ඇඳීම් සහ හානි ඵලදායී ලෙස අඩු කළ හැකිය.

3. හොඳ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්: TaC ආලේපනයට ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයක් යටතේ එහි විශිෂ්ට ක්‍රියාකාරිත්වය පවත්වා ගත හැක.

4. හොඳ රසායනික ස්ථායීතාවයක්: TaC ආලේපනය හොඳ රසායනික ස්ථායීතාවයක් ඇති අතර අම්ල සහ භෂ්ම වැනි බොහෝ රසායනික ප්රතික්රියා වලට ප්රතිරෝධය දැක්විය හැක.

TaC ආලේපනය13
TaC ආලේපනය10

碳化钽涂层物理特性物理特性

භෞතික ගුණාංග TaC ආලේපනය

密度/ ඝනත්වය

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / විශේෂිත විමෝචනය

0.3

热膨胀系数 / තාප ප්රසාරණ සංගුණකය

6.3 10-6/K

努氏硬度/ දෘඪතාව (HK)

2000 HK

电阻 / ප්රතිරෝධය

1×10-5 ඕම් * සෙ.මී

热稳定性 / තාප ස්ථායීතාවය

<2500℃

石墨尺寸变化 / ග්රැෆයිට් ප්රමාණය වෙනස් වේ

-10~-20um

涂层厚度 / ආලේපන ඝණකම

≥20um සාමාන්‍ය අගය (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd යනු උසස් මට්ටමේ උසස් ද්‍රව්‍ය නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය, මිනිරන්, සිලිකන් කාබයිඩ්, පිඟන් මැටි, මතුපිට පිරියම් කිරීම සහ යනාදිය ආවරණය වන ද්‍රව්‍ය සහ තාක්ෂණය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයකි. නිෂ්පාදන ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතාව, අර්ධ සන්නායක, නව බලශක්තිය, ලෝහ විද්‍යාව, ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.

අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතන වලින් පැමිණේ, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.

අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • පෙර:
  • ඊළඟ:

  • WhatsApp මාර්ගගත කතාබස්!