CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් මුද්ද

කෙටි විස්තරය:

VET Energy silicon carbide coated graphite ring යනු දීර්ඝ කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්ය සාධන නිෂ්පාදනයකි. එය සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදනය ප්‍රතිරෝධය ඇත, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුමක් බවට පත් කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න PDF ලෙස බාගන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

මූලික ග්රැෆයිට් ද්රව්යයේ සාමාන්ය ගුණාංග:

පෙනෙන ඝනත්වය:	1.85 g/cm3
විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධය:	11 μΩm
Flexural Strenth:	49 MPa (500kgf/cm2)
වෙරළ තද බව:	58
අළු:	<5ppm
තාප සන්නායකතාව:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

අපි දැනට පවතින සියලුම epitaxy ප්‍රතික්‍රියාකාරක සඳහා විවිධ susceptors සහ මිනිරන් කොටස් සපයන්නෙමු. අපගේ නිෂ්පාදනවලට LPE ඒකක සඳහා බැරල් susceptors, LPE, CSD, සහ Gemini ඒකක සඳහා පෑන්කේක් susceptors සහ යෙදූ සහ ASM ඒකක සඳහා තනි වේෆර් susceptors ඇතුළත් වේ.

ප්‍රමුඛ OEMs, ද්‍රව්‍ය විශේෂඥතාව සහ නිෂ්පාදන දැනුම සමඟ ශක්තිමත් හවුල්කාරිත්වයන් ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, පශු වෛද්‍යවරයා ඔබේ යෙදුම සඳහා ප්‍රශස්ත නිර්මාණයක් ලබා දෙයි.

VET බලශක්තිය වේ දCVD ආලේපනය සහිත අභිරුචිකරණය කරන ලද මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදන සැබෑ නිෂ්පාදකයා,සැපයිය හැකවිවිධඅර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය සඳහා අභිරුචි කළ කොටස්. Oඔබගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතන වලින් පැමිණේ, වඩා වෘත්තීය ද්රව්යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකියඔයා වෙනුවෙන්.

Fඅපගේ නිෂ්පාදනවල ආහාර වර්ග:

1. 1700 දක්වා ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය℃.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහතාප ඒකාකාරිත්වය
3. විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක.
4. ඉහළ දෘඪතාව, සංයුක්ත මතුපිට, සියුම් අංශු.
5. දිගු සේවා කාලය සහ වඩා කල් පවතින

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය
性质 / දේපල	典型数值 / සාමාන්ය අගය
晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය	FCC β අදියර多晶,主要为（111）取向
密度 / ඝනත්වය	3.21 g/cm³
硬度 / දෘඪතාව	2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර)
晶粒大小 / ධාන්ය ප්රමාණය	2~10μm
纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය	99.99995%
热容 / තාප ධාරිතාව	640 J·kg^-1·කේ^-1
升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය	2700℃
抗弯强度 / Flexural ශක්තිය	415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃
导热系数 / තාපඑල්සන්නායකතාව	300W·m^-1·කේ^-1
热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය (CTE)	4.5×10^-6K^-1