VET انرجي سلکان ڪاربائيڊ (SiC) epitaxial wafer هڪ اعليٰ ڪارڪردگي وارو وسيع بينڊ گيپ سيمي ڪنڊڪٽر مواد آهي جنهن سان بهترين گرمي پد جي مزاحمت، اعليٰ تعدد ۽ اعليٰ طاقت جي خصوصيت آهي. اهو پاور اليڪٽرانڪ ڊوائيسز جي نئين نسل لاء هڪ مثالي substrate آهي. VET انرجي ترقي يافته MOCVD epitaxial ٽيڪنالاجي استعمال ڪري ٿي، SiC سبسٽراٽس تي اعليٰ معيار جي SiC epitaxial تہن کي وڌائڻ لاءِ، ويفر جي شاندار ڪارڪردگي ۽ تسلسل کي يقيني بڻائي ٿي.
اسان جو Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer مختلف قسم جي سيمي ڪنڊڪٽر مواد سان شاندار مطابقت پيش ڪري ٿو جن ۾ Si Wafer، SiC Substrate، SOI Wafer، ۽ SiN Substrate شامل آهن. ان جي مضبوط epitaxial پرت سان، اهو ترقي يافته عملن کي سپورٽ ڪري ٿو جهڙوڪ Epi Wafer جي واڌ ۽ انضمام جهڙوڪ Gallium Oxide Ga2O3 ۽ AlN Wafer، مختلف ٽيڪنالاجيز ۾ ورسٽائل استعمال کي يقيني بڻائي ٿي. صنعت جي معياري ڪيسٽ هينڊلنگ سسٽم سان مطابقت رکڻ لاءِ ٺهيل آهي، اهو سيمي ڪنڊڪٽر فيبريڪيشن ماحول ۾ موثر ۽ منظم آپريشن کي يقيني بڻائي ٿو.
VET انرجي جي پراڊڪٽ لائن محدود ناهي SiC epitaxial wafers تائين. اسان سيمي ڪنڊڪٽر سبسٽريٽ مواد جي وسيع رينج پڻ فراهم ڪندا آهيون، جنهن ۾ Si Wafer، SiC Substrate، SOI Wafer، SiN Substrate، Epi Wafer، وغيره شامل آهن. ان کان علاوه، اسان فعال طور تي نئين وسيع بينڊ گيپ سيمي ڪنڊڪٽر مواد کي پڻ ترقي ڪري رهيا آهيون، جهڙوڪ Gallium Oxide Ga2O3 ۽ AlN. ويفر، مستقبل جي پاور اليڪٽرانڪس انڊسٽري جي اعلي ڪارڪردگي ڊوائيسز جي مطالبن کي پورو ڪرڻ لاء.
وافرنگ جون خاصيتون
*n-Pm=n-قسم Pm-گريڊ، n-Ps=n-قسم Ps-گريڊ، Sl=سيمي-لنسوليٽنگ
شيءِ | 8-انچ | 6-انچ | 4-انچ | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
بو (GF3YFCD) - مطلق قدر | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
وارپ (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) - 10mmx10mm | <2μm | ||||
ويفر ايج | بيولنگ |
مٿاڇري ختم
*n-Pm=n-قسم Pm-گريڊ، n-Ps=n-قسم Ps-گريڊ، Sl=سيمي-لنسوليٽنگ
شيءِ | 8-انچ | 6-انچ | 4-انچ | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
مٿاڇري ختم | ٻه طرفي آپٽيڪل پولش، سي-منهن CMP | ||||
سطح جي خرابي | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
ڪنڊ چپس | ڪابه اجازت نه آهي (ڊگھائي ۽ ويڪر ≥0.5mm) | ||||
انگ اکر | ڪابه اجازت ناهي | ||||
اسڪريچس (سي-منهن) | مقدار.≤5، مجموعي | مقدار.≤5، مجموعي | مقدار.≤5، مجموعي | ||
ڪڪڙ | ڪابه اجازت ناهي | ||||
کنڊ جي خارج ٿيڻ | 3mm |