فرنس ٽيوب جي سامان جي اندروني جوڙجڪ تفصيل سان بيان ڪئي وئي آهي

جيئن مٿي ڏيکاريل آهي، هڪ عام آهي

پهريون اڌ:
حرارتي عنصر (هٽنگ ڪوئل) : فرنس ٽيوب جي چوڌاري واقع، عام طور تي مزاحمت واري تارن مان ٺهيل، فرنس ٽيوب جي اندر کي گرم ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.
کوارٽز ٽيوب: هڪ گرم آڪسائيڊيشن فرنس جو بنيادي، اعلي پاڪائي واري ڪوارٽز مان ٺهيل آهي جيڪو تيز گرمي کي برداشت ڪري سگهي ٿو ۽ ڪيميائي طور تي غير فعال رهي ٿو.
گيس فيڊ: فرنس ٽيوب جي مٿئين پاسي يا پاسي تي واقع آهي، اهو آڪسيجن يا ٻين گيس کي فرنس ٽيوب جي اندر تائين پهچائڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.
ايس ايس فلانج: اجزاء جيڪي کوارٽز ٽيوب ۽ گيس لائينز کي ڳنڍيندا آهن، ڪنيڪشن جي تنگي ۽ استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي.
گيس فيڊ لائنون: پائپس جيڪي MFC کي گئس سپلائي پورٽ سان ڳنڍيندا آهن گئس ٽرانسميشن لاءِ.
MFC (ماس فلو ڪنٽرولر): هڪ ڊوائيس جيڪو کوارٽز ٽيوب جي اندر گئس جي وهڪري کي ڪنٽرول ڪري ٿو، خاص طور تي گئس جي مقدار کي منظم ڪرڻ لاء.
وينٽ: فرنس ٽيوب جي اندر مان نڪرڻ واري گئس کي سامان جي ٻاهرئين پاسي تائين پهچائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

هيٺيون حصو
هولڊر ۾ سلڪون ويفرز: سلڪون ويفرز هڪ خاص هولڊر ۾ رکيا ويندا آهن ته جيئن آڪسائيڊيشن دوران يونيفارم گرمي کي يقيني بڻائي سگهجي.
ويفر هولڊر: سلکان ويفر کي رکڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ۽ انهي ڳالهه کي يقيني بڻائي ته سلڪون ويفر پروسيس دوران مستحڪم رهي.
Pedestal: هڪ ڍانچي جنهن ۾ سلڪون ويفر هولڊر هوندو آهي، عام طور تي اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمتي مواد مان ٺهيل هوندو آهي.
لفٽ: ويفر هولڊرز کي کڻڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ڪوارٽز ٽيوب اندر ۽ ٻاهر نڪرڻ لاءِ خودڪار لوڊ ڪرڻ ۽ سلڪون ويفرز جي ان لوڊ ڪرڻ لاءِ.
ويفر ٽرانسفر روبوٽ: فرنس ٽيوب ڊيوائس جي پاسي تي واقع آهي، اهو خودڪار طور تي سلکان ويفر کي دٻي مان هٽائڻ ۽ ان کي فرنس ٽيوب ۾ رکڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي، يا پروسيسنگ کان پوء هٽايو ويندو آهي.
ڪيسٽ اسٽوريج ڪارسيل: ڪيسٽ اسٽوريج ڪارسيل هڪ باڪس کي ذخيرو ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي جنهن ۾ سلڪون ويفر شامل آهن ۽ روبوٽ جي رسائي لاء گھمائي سگهجي ٿو.
ويفر ڪيسٽ: ويفر ڪيسٽ استعمال ڪيو ويندو آهي ذخيرو ڪرڻ ۽ منتقل ڪرڻ لاءِ سلڪون ويفرز کي پروسيس ڪرڻ لاءِ.