فرنس ٽيوب جي سامان جي اندروني جوڙجڪ تفصيل سان بيان ڪئي وئي آهي

جيئن مٿي ڏيکاريل آهي، هڪ عام آهي

پهريون اڌ:

▪ حرارتي عنصر (حرارتي ڪوئل):

فرنس ٽيوب جي چوڌاري واقع، عام طور تي مزاحمت واري تارن مان ٺهيل، فرنس ٽيوب جي اندر کي گرم ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.

▪ کوارٽز ٽيوب:

گرم آڪسائيڊشن فرنس جو بنيادي، اعلي پاڪائي واري ڪوارٽز مان ٺهيل آهي جيڪو تيز گرمي کي برداشت ڪري سگهي ٿو ۽ ڪيميائي طور تي غير فعال رهي ٿو.

▪ گيس فيڊ:

فرنس ٽيوب جي اوپري يا پاسي تي واقع آهي، اهو آڪسيجن يا ٻين گيس کي فرنس ٽيوب جي اندر تائين پهچائڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.

▪ ايس ايس فلانج:

اجزاء جيڪي کوارٽز ٽيوب ۽ گيس لائينن کي ڳنڍيندا آهن، ڪنيڪشن جي تنگي ۽ استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي.

▪ گيس فيڊ لائنون:

پائپس جيڪي MFC کي گئس سپلائي پورٽ سان ڳنڍيندا آهن گئس ٽرانسميشن لاءِ.

▪ MFC (ماس فلو ڪنٽرولر):

هڪ ڊوائيس جيڪو گيس جي وهڪري کي ڪنٽرول ڪري ٿو ڪوارٽز ٽيوب اندر ضروري گئس جي مقدار کي صحيح طور تي منظم ڪرڻ لاءِ.

▪ وينٽ:

فرنس ٽيوب جي اندر مان نڪرڻ واري گيس کي سامان جي ٻاهرئين حصي تائين پهچائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

هيٺيون حصو:

▪ سلکان ويفرز هولڊر ۾:

سلڪون ويفرز هڪ خاص هولڊر ۾ رکيل آهن ته جيئن آڪسائيڊشن دوران يونيفارم گرمي کي يقيني بڻائي سگهجي.

▪ ويفر هولڊر:

سلکان ويفر کي رکڻ لاءِ استعمال ڪيو ويو ۽ انهي کي يقيني بڻايو وڃي ته سلڪون ويفر پروسيس دوران مستحڪم رهي.

▪ پيادل:

هڪ ڍانچي جنهن ۾ سلکان ويفر هولڊر هوندو آهي، عام طور تي هڪ اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمتي مواد مان ٺهيل هوندو آهي.

▪ لفٽ:

ويفر هولڊرز کي کوارٽز ٽيوب اندر ۽ ٻاهر کڻڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي خودڪار لوڊ ڪرڻ ۽ سلڪون ويفرز جي ان لوڊ ڪرڻ لاءِ.

▪ ويفر ٽرانسفر روبوٽ:

فرنس ٽيوب ڊيوائس جي پاسي تي واقع آهي، اهو خودڪار طور تي سلکان ويفر کي دٻي مان هٽائڻ ۽ ان کي فرنس ٽيوب ۾ رکڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي، يا پروسيسنگ کان پوء هٽايو ويندو آهي.

▪ ڪيسٽ اسٽوريج Carousel:

ڪيسٽ اسٽوريج ڪارسيل هڪ باڪس کي ذخيرو ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي جنهن ۾ سلکان ويفرز شامل آهن ۽ روبوٽ جي رسائي لاء گھمائي سگهجي ٿو.

▪ ويفر ڪيسٽ:

ويفر ڪيسٽ استعمال ڪيو ويندو آهي ذخيرو ڪرڻ ۽ منتقل ڪرڻ لاءِ سلکان ويفرز کي پروسيس ڪيو وڃي.