سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس: سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن لاءِ ضروري جزا

Photolithography ٽيڪنالاجي بنيادي طور تي آپٽيڪل سسٽم کي استعمال ڪرڻ تي ڌيان ڏئي ٿو ته سرڪٽ جي نمونن کي سلکان ويفرز تي ظاهر ڪرڻ لاء. هن عمل جي درستگي سڌو سنئون متاثر سرڪٽ جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار کي متاثر ڪري ٿي. جيئن ته چپ جي پيداوار لاء مٿين سامان مان هڪ آهي، ليٿوگرافي مشين تي مشتمل آهي سوين هزارين اجزاء تائين. ليٿوگرافي سسٽم جي اندر ٻنهي آپٽيڪل اجزاء ۽ اجزاء کي سرڪٽ جي ڪارڪردگي ۽ درستگي کي يقيني بڻائڻ لاء انتهائي اعلي صحت جي ضرورت هوندي آهي.سي سيرامڪس۾ استعمال ڪيا ويا آهنwafer چٽ۽ سيرامڪ چورس آئيني.

ويفر چيڪليٿوگرافي مشين ۾ ويفر چڪ برداشت ڪري ٿو ۽ نمائش واري عمل دوران ويفر کي منتقل ڪري ٿو. ويفر جي مٿاڇري تي نموني کي صحيح طور تي نقل ڪرڻ لاءِ ويفر ۽ چيڪ جي وچ ۾ صحيح ترتيب ضروري آهي.سي سي ويفرچڪ انهن جي هلڪي وزن، اعلي طول و عرض جي استحڪام ۽ گهٽ حرارتي توسيع جي گنجائش لاء سڃاتل آهن، جيڪي اندروني لوڊ گھٽائي سگهن ٿا ۽ حرڪت جي ڪارڪردگي، پوزيشن جي درستگي ۽ استحڪام کي بهتر بڻائي سگهن ٿا.

سيرامڪ اسڪوائر آئيني ليٿوگرافي مشين ۾، ويفر چيڪ ۽ ماسڪ اسٽيج جي وچ ۾ موشن سنڪرونائيزيشن انتهائي اهم آهي، جيڪو سڌي طرح لٿوگرافي جي درستگي ۽ پيداوار کي متاثر ڪري ٿو. چورس ريفلڪٽر ويفر چيڪ اسڪيننگ پوزيشننگ موٽ جي ماپ سسٽم جو هڪ اهم حصو آهي، ۽ ان جي مادي گهرجون هلڪي وزن ۽ سخت آهن. جيتوڻيڪ سلکان ڪاربائڊ سيرامڪس وٽ مثالي هلڪو وزن جا خاصيتون آهن، اهڙي قسم جي اجزاء ٺاهڻ مشڪل آهي. في الحال، معروف بين الاقوامي مربوط سرڪٽ سامان ٺاهيندڙن ۾ خاص طور تي مواد استعمال ڪن ٿا جهڙوڪ فيوز ٿيل سليڪا ۽ ڪنڊيريٽ. بهرحال، ٽيڪنالاجي جي ترقي سان، چيني ماهرن وڏي سائيز، پيچيده شڪل، انتهائي ہلڪو وزن، مڪمل طور تي بند ٿيل سلکان ڪاربائڊ سيرامڪ چورس آئيني ۽ فوٽو ليٿگرافي مشينن لاءِ ٻيا فنڪشنل آپٽيڪل پرزون تيار ڪري چڪا آهن. ڦوٽو ماسڪ، جنهن کي ايپرچر پڻ سڏيو ويندو آهي، ماسڪ ذريعي روشني منتقل ڪري ٿو ته جيئن فوٽو حساس مواد تي هڪ نمونو ٺاهيو وڃي. بهرحال، جڏهن EUV لائيٽ ماسڪ کي روشن ڪري ٿي، اهو گرمي خارج ڪري ٿو، گرمي کي 600 کان 1000 درجا سينٽيگريڊ تائين وڌائي ٿو، جيڪو حرارتي نقصان جو سبب بڻجي سگهي ٿو. تنهن ڪري، سي سي فلم جو هڪ پرت عام طور تي فوٽو ماسڪ تي جمع ڪيو ويندو آهي. ڪيتريون ئي غير ملڪي ڪمپنيون، جهڙوڪ ASML، هاڻي 90٪ کان وڌيڪ جي منتقلي سان فلمون پيش ڪن ٿيون فوٽو ماسڪ جي استعمال دوران صفائي ۽ معائنو کي گھٽائڻ ۽ EUV فوٽوولوگرافي مشين جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار کي بهتر ڪرڻ.

پلازما ايچنگ۽ Deposition Photomasks، جنهن کي ڪراس هيئرز به چيو ويندو آهي، انهن جو مکيه ڪم آهي روشنيءَ کي ماسڪ ذريعي منتقل ڪرڻ ۽ فوٽو حساس مواد تي هڪ نمونو ٺاهڻ. بهرحال، جڏهن EUV (انتهائي الٽرا وائلٽ) روشني ڦوٽو ماسڪ کي روشن ڪري ٿي، اها گرمي خارج ڪري ٿي، گرمي پد کي 600 ۽ 1000 درجا سينٽيگريڊ جي وچ ۾ وڌائي ٿي، جيڪا حرارتي نقصان جو سبب ٿي سگهي ٿي. تنهن ڪري، سلکان ڪاربائيڊ (SiC) فلم جو هڪ پرت عام طور تي هن مسئلي کي گهٽائڻ لاء فوٽو ماسڪ تي جمع ڪيو ويندو آهي. هن وقت، ڪيتريون ئي پرڏيهي ڪمپنيون، جهڙوڪ ASML، 90 سيڪڙو کان وڌيڪ شفافيت سان فلمون مهيا ڪرڻ شروع ڪري ڇڏيون آهن ته جيئن فوٽو ماسڪ جي استعمال دوران صفائي ۽ چڪاس جي ضرورت کي گهٽايو وڃي، ان ڪري EUV ليٿوگرافي مشينن جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار کي بهتر بڻائي سگهجي ٿو. . پلازما ايچنگ ۽Deposition Focus Ring۽ ٻيا سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، ايچنگ جو عمل مائع يا گيس ايچنٽ استعمال ڪندو آهي (جهڙوڪ فلورائن تي مشتمل گيس) پلازما ۾ آئنائيز ٿيل ويفر تي بمباري ڪرڻ لاءِ ۽ ناپسنديده مواد کي منتخب طور تي هٽايو ويندو آهي جيستائين گهربل سرڪٽ نمونو برقرار نه رهي.ويفرمٿاڇري. ان جي ابتڙ، ٿلهي فلم جو ذخيرو ايچنگ جي ريورس پاسي وانگر هوندو آهي، هڪ ٿلهي فلم ٺاهڻ لاءِ ڌاتو جي تہن جي وچ ۾ موصلي مواد کي اسٽيڪ ڪرڻ لاءِ جمع ڪرڻ جو طريقو استعمال ڪندي. جيئن ته ٻئي عمل پلازما ٽيڪنالاجي استعمال ڪن ٿا، اهي چيمبرن ۽ اجزاء تي corrosive اثرات جو شڪار آهن. تنهن ڪري، سامان جي اندر اجزاء جي سٺي پلازما مزاحمت، فلورائن ايچنگ گيس لاء گهٽ رد عمل، ۽ گهٽ چالکائي جي ضرورت آهي. روايتي ايچنگ ۽ جمع ڪرڻ واري سامان جا حصا، جهڙوڪ فوڪس رينگ، عام طور تي مواد مان ٺهيل آهن جهڙوڪ سلکان يا کوارٽز. جڏهن ته، انٽيگريٽيڊ سرڪٽ مينيوچرائيزيشن جي ترقي سان، انٽيگريٽيڊ سرڪٽ جي پيداوار ۾ ايچنگ جي عمل جي طلب ۽ اهميت وڌي رهي آهي. خوردبيني سطح تي، درست سلڪون ويفر ايچنگ کي ننڍيون لڪير جي چوٽي ۽ وڌيڪ پيچيده ڊيوائس ڍانچي حاصل ڪرڻ لاءِ اعليٰ توانائي واري پلازما جي ضرورت هوندي آهي. تنهن ڪري، ڪيميائي وانپ جمع (CVD) سلکان ڪاربائڊ (SiC) آهستي آهستي پنهنجي بهترين جسماني ۽ ڪيميائي ملڪيتن، اعلي پاڪائي ۽ هڪجهڙائي سان ايچنگ ۽ جمع ڪرڻ واري سامان لاءِ ترجيحي ڪوٽنگ مواد بڻجي ويو آهي. هن وقت، ايچنگ سامان ۾ CVD سلکان ڪاربائيڊ اجزاء شامل آهن فوڪس رِنگز، گيس شاور هيڊز، ٽري ۽ ايج رِنگز. جمع ڪرڻ واري سامان ۾، اتي چيمبر کا احاطه، چيمبر لائينر ۽SIC-coated graphite substrates.

ڪلورين ۽ فلورائن ايچنگ گيسز کي ان جي گهٽ رد عمل ۽ چالکائي جي ڪري،CVD silicon carbideاجزاء لاءِ هڪ مثالي مواد بڻجي چڪو آهي جهڙوڪ پلازما ايچنگ سامان ۾ فوڪس رينگ.CVD silicon carbideايچنگ جي سامان جي اجزاء ۾ فوڪس رِنگز، گيس شاور هيڊز، ٽري، ايج رِنگز وغيره شامل آهن. مثال طور فوڪس رِنگز کي وٺو، اهي اهم جزا آهن جيڪي ويفر جي ٻاهران رکيا ويندا آهن ۽ ويفر سان سڌي رابطي ۾ هوندا آهن. انگوزي تي وولٹیج لاڳو ڪرڻ سان، پلازما انگوزي ذريعي ويفر تي مرکوز ڪيو ويو آهي، پروسيس جي يونيفارم کي بهتر بڻائي ٿو. روايتي طور تي، فوڪس انگوزي سلکان يا کوارٽز مان ٺهيل آهن. بهرحال، جيئن ته انٽيگريٽيڊ سرڪٽ مينيوچرائيزيشن ترقي ڪري ٿي، انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار ۾ ايچنگ جي عمل جي طلب ۽ اهميت وڌندي رهي ٿي. پلازما ايچنگ پاور ۽ توانائي جون گهرجون مسلسل وڌي رهيون آهن، خاص طور تي ڪيپيسيٽيو ملائيندڙ پلازما (سي سي پي) ايچنگ سامان ۾، جنهن کي وڌيڪ پلازما توانائي جي ضرورت آهي. نتيجي طور، سلکان ڪاربائڊ مواد مان ٺهيل فڪٽر انگن جو استعمال وڌي رهيو آهي.