VET انرجي استعمال ڪري ٿي الٽرا اعلي پاڪائيسلکان ڪاربائيڊ (سي سي)ڪيميائي وانپ جي جمع ذريعي ٺهيل(سي وي ڊي)وڌندڙ مواد جي طور تيسي سي ڪرسٽلجسماني بخاري ٽرانسپورٽ (PVT) ذريعي. PVT ۾، ماخذ مواد ۾ لوڊ ڪيو ويندو آهي aصليب وارو۽ ٻج جي ڪرسٽل تي سمايل.
اعلي معيار جي پيداوار لاء هڪ اعلي پاڪائي جو ذريعو گهربل آهيسي سي ڪرسٽل.
VET انرجي PVT لاءِ وڏي-ذري SiC مهيا ڪرڻ ۾ ماهر آهي ڇاڪاڻ ته ان ۾ سي ۽ سي تي مشتمل گيسز جي خودبخود دھڻ سان ٺھيل ننڍڙن ذرن واري مواد کان وڌيڪ کثافت آھي. سولڊ فيز sintering يا Si ۽ C جي رد عمل جي برعڪس، ان لاءِ وقف ٿيل sintering فرنس يا ترقي واري فرنس ۾ وقت گذارڻ واري sintering قدم جي ضرورت ناهي. هن وڏي ذخيري واري مواد ۾ تقريبن مسلسل بخار جي شرح آهي، جيڪا رن-ٽو-رن يونيفارميت کي بهتر بڻائي ٿي.
تعارف:
1. CVD-SiC بلاڪ ماخذ تيار ڪريو: پهريون، توهان کي هڪ اعلي معيار جي CVD-SiC بلاڪ ماخذ تيار ڪرڻ جي ضرورت آهي، جيڪو عام طور تي اعلي پاڪائي ۽ اعلي کثافت جو آهي. اهو تيار ڪري سگهجي ٿو ڪيميائي وانپ جمع (CVD) طريقي سان مناسب رد عمل جي حالتن هيٺ.
2. سبسٽريٽ تيار ڪرڻ: مناسب سبسٽريٽ چونڊيو جيئن سي سي سنگل ڪرسٽل جي واڌ لاءِ سبسٽرٽ. عام طور تي استعمال ٿيل ذيلي مواد شامل آهن سلڪون ڪاربائڊ، سلڪون نائٽرائڊ، وغيره، جيڪي وڌندڙ سي سي سنگل ڪرسٽل سان سٺو ملن ٿا.
3. گرمائش ۽ ٺاھڻ: CVD-SiC بلاڪ ماخذ ۽ ذيلي ذخيري کي تيز گرمي پد واري فرنس ۾ رکو ۽ مناسب سربليشن جون حالتون مهيا ڪريو. Sublimation جو مطلب آهي ته تيز گرمي پد تي، بلاڪ جو ماخذ سڌيءَ طرح سڪل کان وانپ واري حالت ۾ تبديل ٿئي ٿو، ۽ پوءِ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي ٻيهر ڪنڊينس ٿي هڪ واحد ڪرسٽل بڻجي ٿو.
4. گرمي پد تي ضابطو: ٺهڪندڙ عمل جي دوران، درجه حرارت جي درجي ۽ درجه حرارت جي ورڇ کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت آهي ته جيئن بلاڪ جي ذريعا ۽ واحد ڪرسٽل جي ترقي کي وڌائڻ لاء. مناسب درجه حرارت ڪنٽرول مثالي کرسٽل معيار ۽ ترقي جي شرح حاصل ڪري سگھي ٿو.
5. ماحول جو ڪنٽرول: آبهوا جي عمل دوران، رد عمل جي ماحول کي پڻ ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت آهي. اعليٰ پاڪائي واري انرٽ گيس (جهڙوڪ آرگن) عام طور تي ڪيريئر گيس جي طور تي استعمال ٿيندي آهي ته جيئن مناسب دٻاءُ ۽ پاڪائي برقرار رکي ۽ نجاست ذريعي آلودگي کي روڪي سگهجي.
6. سنگل ڪرسٽل جي واڌ: CVD-SiC بلاڪ جو ماخذ سبليميشن جي عمل دوران بخار واري مرحلي جي منتقلي مان گذري ٿو ۽ هڪ واحد ڪرسٽل ڍانچي ٺاهڻ لاءِ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي ٻيهر ٺهي ٿو. سي سي سنگل ڪرسٽل جي تيزيءَ سان ترقيءَ کي حاصل ڪري سگھجن ٿا مناسب سربلائشي حالتن ۽ گرمي پد جي ترتيب واري ڪنٽرول ذريعي.