VET توانائيPECVD پروسيسنگ گريفائٽ ڪيريئر هڪ اعلي معيار جي استعمال جي قابل آهي PECVD (پلازما کي وڌايو ويو ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ) جي عمل لاء. هي graphite ڪيريئر اعلي پاڪائي، اعلي کثافت graphite مواد مان ٺهيل آهي، بهترين تيز گرمي پد جي مزاحمت، corrosion مزاحمت، dimensional استحڪام ۽ ٻين خاصيتن سان، PECVD عمل لاء هڪ مستحڪم ڪيريئر پليٽ فارم مهيا ڪري سگهي ٿو، پتلي فلم جي هڪجهڙائي ۽ flatness کي يقيني بڻائڻ لاء. جمع ڪرائڻ.
PECVD عمل لاء گرافائٽ ڪيريئر ھيٺ ڏنل خاصيتون آھن:
▪ اعلي پاڪائي: انتهائي گهٽ ناپاڪ مواد، فلم جي آلودگي کان بچڻ ۽ فلم جي معيار کي يقيني بڻائڻ.
▪ اعلي کثافت: اعلي کثافت، اعلي مشيني طاقت، تيز گرمي ۽ تيز دٻاء PECVD ماحول کي برداشت ڪرڻ جي قابل.
▪ سٺو طول و عرض: تيز گرمي پد تي ننڍو طول و عرض، عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائي.
▪ بهترين حرارتي چالکائي: موثر طريقي سان گرمي کي منتقل ڪرڻ لاءِ ويفر کي وڌيڪ گرم ٿيڻ کان روڪڻ لاءِ.
▪ مضبوط corrosion resistance: مختلف corrosive gass and Plasma پاران erosion جي مزاحمت ڪرڻ جي قابل.
▪ ڪسٽمائيز سروس: مختلف سائزن ۽ شڪلين جا گرافائٽ ڪيريئر ڪسٽمر جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگھجن ٿا.
SGL کان Graphite مواد:
| عام پيٽرولر: R6510 | |||
| انڊيڪس | ٽيسٽ معيار | قدر | يونٽ |
| اناج جي سراسري ماپ | ISO 13320 | 10 | μm |
| بلڪ کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کليل porosity | ڊي اين 66133 | 10 | % |
| وچولي سوراخ جي ماپ | ڊي اين 66133 | 1.8 | μm |
| پارميگيٽي | دين 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell سختي HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقي مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | م |
| لچڪدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ايم پي اي |
| Compressive طاقت | دين 51910 | 130 | ايم پي اي |
| نوجوانن جو ماڊل | دين 51915 | 11.5×10³ | ايم پي اي |
| حرارتي توسيع (20-200 ℃) | دين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | دين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
اهو خاص طور تي ٺهيل آهي اعلي ڪارڪردگي شمسي سيل جي پيداوار لاء، G12 وڏي سائيز جي ويفر پروسيسنگ جي حمايت ڪندي. بهتر ڪيل ڪيريئر ڊيزائن خاص طور تي ان پٽ کي وڌائي ٿو، اعلي پيداوار جي شرح ۽ گھٽ پيداوار جي قيمت کي چالو ڪري ٿو.
| شيءِ | قسم | نمبر ويفر ڪيريئر |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 156 سيريز | 156-13 گريفائيٽ ٻيڙي | 144 |
| 156-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 216 | |
| 156-21 گريفائيٽ ٻيڙي | 240 | |
| 156-23 graphite ٻيڙي | 308 | |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 125 سيريز | 125-15 گريفائيٽ ٻيڙي | 196 |
| 125-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 252 | |
| 125-21 گرفائيٽ ٻيڙي | 280 |
