СпеченныйКарбид кремния (SiC)Кристалл/Вафельная Лодочкаразработан с учетом строгих требований полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. Он обеспечивает безопасную платформу для работы с кремниевыми кристаллами и пластинами во время высокотемпературной обработки, обеспечивая сохранение их целостности и чистоты.
Ключевые особенности
- Выдающаяся термическая стабильность: Способен выдерживать температуру до 1600°C, идеально подходит для процессов, требующих точного термоконтроля.
- Превосходная химическая стойкость: Устойчив к большинству агрессивных химикатов и газов, что обеспечивает долговечность в суровых условиях обработки.
- Надежная механическая прочность: Сохраняет структурную целостность при высоких нагрузках, снижая вероятность деформации или поломки.
- Минимальное тепловое расширение: Разработан для минимизации риска термического удара и растрескивания, обеспечивает надежную работу при длительном использовании.
- Точное производство: Изготовлено с высокой точностью для удовлетворения конкретных технологических требований и подходит для кристаллов и пластин различных размеров.
Приложения
• Обработка полупроводниковых пластин.
• Производство светодиодов
• Производство фотоэлектрических элементов
• Системы химического осаждения из паровой фазы (CVD)
• Исследования и разработки в области материаловедения
烧结碳化硅物理特性 Физические свойстваSзаинтересованSкремнийCарбид | |
性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
化学成分 / ХимическаяСостав | SiC>95%, Si<5% |
体积密度 / Объемная плотность | >3,07 г/см³ |
显气孔率/ Кажущаяся пористость Кажущаяся пористость | <0,1% |
常温抗弯强度/ Модуль разрыва при 20℃ | 270 МПа |
高温抗弯强度/ Модуль разрыва при 1200℃ | 290МПа |
硬度/ Твердость при 20℃ | 2400 кг/мм² |
断裂韧性/ Вязкость разрушения при 20 % | 3.3МПа·м1/2 |
导热系数/ Теплопроводность при 1200 ℃ | 45ж/м .К |
热膨胀系数/ Тепловое расширение при 20-1200 ℃ | 4,51 ×10-6/℃ |
最高工作温度/ Макс.рабочая температура | 1400℃ |
热震稳定性/ Устойчивость к термическому удару при 1200 ℃ | Хороший |
Почему стоит выбрать нашу лодочку для кристаллов/вафель из спеченного карбида кремния (SiC)?
Выбор нашей лодки SiC Crystal/Wafer означает выбор в пользу надежности, эффективности и долговечности. Каждая лодка проходит строгие меры контроля качества, чтобы гарантировать ее соответствие самым высоким стандартам отрасли. Этот продукт не только повышает безопасность и производительность вашего производственного процесса, но также гарантирует стабильное качество ваших кремниевых кристаллов и пластин. С нашим SiC Crystal/Wafer Boat вы можете доверять решению, которое обеспечит совершенство вашей работы.