Графитовый токоприемник с покрытием из карбида кремния для светодиодного травления

Краткое описание:

Карбидокремниевый токоприемник для травления светодиодов (лоток SiC) — специальный аксессуар для глубокого травления кремния (автомат для травления ICP). носитель пластин, также известный как носитель пластин, носитель кремниевых пластин, также известный как карманная пластина. Широко используется в полупроводниковом CVD и вакуумном напылении.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

Токоприемник с покрытием из карбида кремнияa ключкомпонент, используемый в различных процессах производства полупроводников.Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления токоприемника с покрытием из карбида кремния.чрезвычайно высокая чистота,хорошийпокрытиеединообразиеи отличный срок службы, а такжевысокая химическая стойкость и термостабильность.

ПОО Энергия тотнастоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с CVD-покрытием,может предоставитьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить более профессиональные решения по материалам.для тебя.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы, чтобы предоставлять более совершенные материалы,иразработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать соединение покрытия с подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

FОсобенности нашей продукции:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700.℃.
2. Высокая чистота итепловая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β-фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа РТ 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1