Хорошо управляемые инструменты, опытная команда по прибылям и гораздо более качественные послепродажные продукты и услуги; Мы также являемся единым главным супругом и детьми, каждый человек придерживается преимущества компании «объединение, преданность делу, терпимость» для хорошего качества консольной лопатки из карбида кремния RBSIC / SISIC, используемой в солнечной фотоэлектрической промышленности. Мы искренне приветствуем две иностранные и отечественные компании. Деловые партнеры и надеемся на сотрудничество с вами в ближайшем будущем!
Хорошо управляемые инструменты, опытная команда по прибылям и гораздо более качественные послепродажные продукты и услуги; Мы также были единым главным супругом и детьми, каждый человек придерживается выгоды компании «объединение, преданность делу, терпимость» дляКитай Огнеупорная керамика и керамическая печь, Чтобы удовлетворить требования конкретных клиентов для более совершенного обслуживания и стабильного качества товаров. Мы тепло приветствуем клиентов по всему миру, чтобы посетить нас, благодаря нашему многогранному сотрудничеству и совместно осваивать новые рынки, создавать блестящее будущее!
Покрытие SiC/покрытие графитовой подложки для полупроводников Суцепторы удерживают и нагревают полупроводниковые пластины во время термической обработки. Суцептор изготовлен из материала, который поглощает энергию за счет индукции, проводимости и/или излучения и нагревает пластину. Его термостойкость, теплопроводность и чистота имеют решающее значение для быстрой термической обработки (RTP). Графит с покрытием из карбида кремния, карбид кремния (SiC) и кремний (Si) обычно используются в качестве токоприемников в зависимости от конкретной термической и химической среды. PureSiC® CVD SiC и сверхчистый материал ClearCarbon™, обеспечивающий превосходную термическую стабильность, коррозионную стойкость и долговечность. Описание продукта
Покрытие SiC графитовой подложки для полупроводников позволяет получить деталь превосходной чистоты и устойчивости к окислительной атмосфере.
CVD SiC или CVI SiC наносятся на графит деталей простой или сложной конструкции. Покрытие можно наносить различной толщины и на очень большие детали.
Техническая керамика является естественным выбором для термической обработки полупроводников, включая RTP (быструю термическую обработку), Epi (эпитаксиальную обработку), диффузию, окисление и отжиг. CoorsTek предлагает компоненты из современных материалов, специально разработанные для того, чтобы выдерживать термические удары, с высокой чистотой, прочностью и повторяемостью работы при высоких температурах.
Функции:
· Отличная устойчивость к тепловому удару
· Отличная устойчивость к физическим ударам
· Отличная химическая стойкость
· Супервысокая чистота
· Наличие сложной формы
· Можно использовать в окислительной атмосфере
приложение:
Пластине необходимо пройти несколько этапов, прежде чем она будет готова к использованию в электронных устройствах. Одним из важных процессов является эпитаксия кремния, при которой пластины переносятся на графитовые токоприемники. Свойства и качество токоприемников оказывают решающее влияние на качество эпитаксиального слоя пластины.
Типичные свойства базового графитового материала:
Кажущаяся плотность: | 1,85 г/см3 |
Электрическое сопротивление: | 11 мкОм·м |
Изгибная прочность: | 49 МПа (500 кгс/см2) |
Твердость по Шору: | 58 |
Пепел: | <5 частей на миллион |
Теплопроводность: | 116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃) |
Подробнее о продукции