Susceptor de butoi is a cheiecomponentă utilizată în diferite procese de fabricație a semiconductorilor.Folosim tehnologia noastră patentată pentru a facesusceptor de butoicupuritate extrem de ridicată,bunacoperireuniformitateși o durată de viață excelentă, precum șirezistență chimică ridicată și proprietăți de stabilitate termică.
VET Energia este celproducător real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire CVD,poate furnizadiversepiese personalizate pentru industria semiconductoare și fotovoltaică. OEchipa tehnică provine de la instituții de cercetare naționale de top, poate oferi soluții materiale mai profesionalePentru dumneavoastră.
Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale mai avansate,şiau elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face legătura dintre acoperire și substrat mai strânsă și mai puțin predispusă la detașare.
FCaracteristicile produselor noastre:
1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate până la 1700℃.
2. Puritate ridicată șiuniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă
CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCacoperire | |
性质 / Proprietate | 典型数值 / Valoare tipică |
晶体结构 / Structura de cristal | faza β FCC多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densitatea | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Duritate | 2500 维氏硬度(încărcare 500g) |
晶粒大小 / Dimensiunea boabelor | 2~10μm |
纯度 / Puritatea chimică | 99,99995% |
热容 / Capacitatea termică | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Temperatura de sublimare | 2700℃ |
抗弯强度 / Rezistența la încovoiere | 415 MPa RT în 4 puncte |
杨氏模量 / Modulul tinerilor | 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalConductivitate | 300 W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Vă urăm călduros să vizitați fabrica noastră, să avem discuții suplimentare!