Instrumente bine gestionate, echipa de experți în profit și produse și servicii post-vânzare mult mai bune; Am fost, de asemenea, un soț și un copil unificat major, fiecare persoană rămâne la beneficiul companiei „unificare, dăruire, toleranță” pentru Paddle cantilever RBSIC/SISIC de bună calitate din carbură de siliciu utilizată în industria solară fotovoltaică, salutăm cu sinceritate cele două străine și interne tovarăși de întreprindere de afaceri, și sper să opereze cu tine pe termen lung!
Instrumente bine gestionate, echipa de experți în profit și produse și servicii post-vânzare mult mai bune; Am fost, de asemenea, un soț principal unificat și copii, fiecare persoană rămâne la beneficiul companiei „unificare, dăruire, toleranță” pentruChina refractar ceramică și cuptor ceramic, Pentru a satisface cerințele anumitor clienți pentru fiecare serviciu mai perfect și articole de calitate stabilă. Salutăm cu căldură clienții din întreaga lume să ne viziteze, cu cooperarea noastră cu mai multe fațete și să dezvoltăm împreună noi piețe, să creăm un viitor strălucit!
Acoperire SiC/acoperit cu substrat de grafit pentru semiconductor Susceptorii dețin și încălzesc plachetele semiconductoare în timpul procesării termice. Un susceptor este realizat dintr-un material care absoarbe energie prin inducție, conducție și/sau radiație și încălzește placheta. Rezistența sa la șocuri termice, conductivitatea termică și puritatea sunt esențiale pentru procesarea termică rapidă (RTP). Grafitul acoperit cu carbură de siliciu, carbura de siliciu (SiC) și siliciul (Si) sunt utilizate în mod obișnuit pentru susceptori, în funcție de mediul termic și chimic specific. Material ultra-pur PureSiC® CVD SiC și ClearCarbon™ care oferă stabilitate termică superioară, rezistență la coroziune și durabilitate. Descriere produs
Acoperirea cu SiC a substratului de grafit pentru aplicații de semiconductor produce o piesă cu puritate superioară și rezistență la atmosfera oxidantă.
CVD SiC sau CVI SiC este aplicat pe grafit de piese de design simple sau complexe. Acoperirea poate fi aplicată în grosimi diferite și pe piese foarte mari.
Ceramica tehnică este o alegere naturală pentru aplicațiile de procesare termică a semiconductoarelor, inclusiv RTP (Procesare termică rapidă), Epi (Epitaxială), difuzie, oxidare și recoacere. CoorsTek oferă componente avansate din materiale special concepute pentru a rezista la șocuri termice cu performanțe de înaltă puritate, robuste și repetabile pentru temperaturi înalte
Caracteristici:
· Rezistență excelentă la șocuri termice
· Rezistență excelentă la șocuri fizice
· Rezistență chimică excelentă
· Puritate super ridicată
· Disponibilitate în formă complexă
· Utilizabil în atmosferă oxidantă
aplicație:
O napolitană trebuie să treacă prin mai mulți pași înainte de a fi gata de utilizare în dispozitive electronice. Un proces important este epitaxia de siliciu, în care plachetele sunt transportate pe susceptori de grafit. Proprietățile și calitatea susceptorilor au un efect crucial asupra calității stratului epitaxial al plachetei.
Proprietăți tipice ale materialului grafit de bază:
Densitatea aparentă: | 1,85 g/cm3 |
Rezistivitate electrică: | 11 μΩm |
Rezistența la încovoiere: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Duritate Shore: | 58 |
Frasin: | <5 ppm |
Conductivitate termică: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Mai mult Produ