AvansatulVâslă cantilever SiCpentru Wafer Processing creat de vet-china oferă o soluție excelentă pentru fabricarea semiconductorilor. Această paletă cantilever este fabricată din material SiC (carbură de siliciu), iar duritatea ridicată și rezistența la căldură îi permit să mențină o performanță excelentă în medii cu temperatură ridicată și corozive. Designul paletei Cantilever permite ca waferul să fie susținut în mod fiabil în timpul procesării, reducând riscul de fragmentare și deteriorare.
Vâslă cantilever SiCeste o componentă specializată utilizată în echipamentele de fabricare a semiconductoarelor, cum ar fi cuptorul de oxidare, cuptorul de difuzie și cuptorul de recoacere, principala utilizare este pentru încărcarea și descărcarea plachetelor, susține și transportă napolitane în timpul proceselor la temperatură înaltă.
Structuri comunedeSiccantipârghiepaddle: o structură în consolă, fixată la un capăt și liberă la celălalt, are de obicei un design plat și asemănător cu vâslele.
VET Energy utilizează materiale din carbură de siliciu recristalizată de înaltă puritate pentru a garanta calitatea.
| Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate | |
| Proprietate | Valoare tipică |
| Temperatura de lucru (°C) | 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere) |
| continut SiC | > 99,96% |
| Conținut gratuit Si | < 0,1% |
| Densitate în vrac | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porozitate aparentă | < 16% |
| Rezistența la compresiune | > 600MPa |
| Rezistența la îndoire la rece | 80-90 MPa (20°C) |
| Rezistența la îndoire la cald | 90-100 MPa (1400°C) |
| Expansiune termică la 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Conductivitate termică @1200°C | 23W/m•K |
| Modulul elastic | 240 GPa |
| Rezistenta la socuri termice | Extrem de bine |
Avantajele paletei avansate în consolă SiC de la VET Energy pentru procesarea waferelor sunt:
-Stabilitate la temperaturi ridicate: utilizabil in medii peste 1600°C;
-Coeficient de dilatare termică scăzut: menține stabilitatea dimensională, reducând riscul de deformare a plachetei;
-Puritate ridicată: risc scăzut de contaminare cu metale;
-Inerție chimică: rezistentă la coroziune, potrivită pentru diverse medii gazoase;
-Rezistență și duritate ridicate: rezistent la uzură, durată lungă de viață;
-Conductivitate termică bună: ajută la încălzirea uniformă a plachetelor.
-
Wafer SiC de tip N de 6 inchi
-
Acoperire cu carbură de tantal: rezistentă la uzură, înaltă...
-
Celulă de combustie cu hidrogen 24 V Pemfc Stack 1000 W Hidro...
-
Instrument de alimentare cu energie cu hidrogen 220W Pilă de combustibil...
-
Dronă cu pile de combustie cu hidrogen 2000w Pemfc Stack 25v...
-
Compozite C/C personalizate de înaltă rezistență la frecare (CFC)