Susceptor revestido de carboneto de tântalo para wafer

Pequena descrição:

Semicera é líder em tecnologia de proteção de materiais contra altas temperaturas e temos orgulho de apresentar produtos de revestimento de carboneto de tântalo CVD (TaC) para fornecer proteção confiável contra altas temperaturas para seus substratos de grafite.A grafite é um excelente material resistente a altas temperaturas, mas é propenso à oxidação em altas temperaturas, o que não pode ser completamente evitado mesmo em um forno a vácuo.Nosso revestimento CVD de carboneto de tântalo (TaC) pode prevenir eficazmente a oxidação do substrato de grafite, mantendo seu excelente desempenho em altas temperaturas.O TaC também é um material inerte que pode resistir a reações com gases como argônio e hidrogênio.Consulte a Semicera hoje para saber mais sobre nossos susceptores EPI revestidos com carboneto de tântalo CVD para garantir a estabilidade e confiabilidade de suas aplicações de alta temperatura.

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Detalhes do produto

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O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode chegar a 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode efetivamente reduzir o desgaste e danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: O revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

Revestimento CVD de carboneto de tântalo EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriedades físicas de TaC Revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
电阻 / Resistência	1x10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia que abrangem grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante.Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

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