Susceptor revestido de carboneto de tântalo para wafer

Breve descrição:

O susceptor revestido de carboneto de tântalo VET Energy para wafer é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.

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Detalhes do produto

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O revestimento TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, possui as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, geralmente pode chegar a 2500-3000HV, é um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode efetivamente reduzir o desgaste e danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: O revestimento TaC também pode manter seu excelente desempenho em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento TaC tem boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

Revestimento CVD de carboneto de tântalo EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriedades físicas de TaC revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
电阻 / Resistência	1x10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é uma empresa de alta tecnologia com foco na produção e vendas de materiais avançados de alta qualidade, materiais e tecnologia que abrangem grafite, carboneto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

Calorosamente bem-vindo para visitar nossa fábrica, vamos discutir mais!