Barco/Torre de Wafer SiC

Detalhes do produto

ProdutoDdescrição

Os barcos wafer de carboneto de silício são amplamente utilizados como suporte de wafer em processos de difusão de alta temperatura.

Vantagens:

Resistência a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta condutividade térmica:equivalente ao material de grafite

Alta dureza:dureza perdendo apenas para diamante, nitreto de boro

Resistência à corrosão:ácido forte e álcali não apresentam corrosão, a resistência à corrosão é melhor do que carboneto de tungstênio e alumina

Peso leve:baixa densidade, próximo ao alumínio

Sem deformação: baixo coeficiente de expansão térmica

Resistência ao choque térmico:pode suportar mudanças bruscas de temperatura, resistir a choques térmicos e ter desempenho estável

Propriedades físicas do SiC

Propriedade	Valor	Método
Densidade	3,21 g/cc	Flutuador e dimensão
Calor específico	0,66 J/g °K	Flash laser pulsado
Resistência à flexão	450MPa560MPa	Curvatura de 4 pontos, curvatura de ponto RT4, 1300°
Resistência à fratura	2,94MPa m1/2	Microindentação
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500g
Módulo de elasticidadeMódulo de Young	450 GPa430 GPa	Curvatura de 4 pontos, curvatura RT4 pontos, 1300 °C
Tamanho do grão	2 – 10 µm	SEM

Propriedades térmicas do SiC

Condutividade Térmica	250 W/m °K	Método de flash laser, RT
Expansão Térmica (CTE)	4,5 x 10-6°K	Temperatura ambiente até 950 °C, dilatômetro de sílica