Transportador de revestimento SiC para RTP/RTA

Breve descrição:

VET Energy SiC Coating Carrier For RTP/RTA é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.

 

 


  • Local de Origem:China
  • Estrutura Cristalina:Fase FCCβ
  • Densidade:3,21g/cm3;
  • Dureza:2500 Vickers;
  • Tamanho do grão:2~10μm;
  • Pureza Química:99,99995%;
  • Capacidade de calor:640J·kg-1·K-1;
  • Temperatura de sublimação:2700°C;
  • Força felexural:415 Mpa (RT 4 Pontos);
  • Módulo de Young:430 Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C);
  • Expansão Térmica (CTE):4,5 10-6K-1;
  • Condutividade Térmica:300(W/MK);
  • Detalhes do produto

    Etiquetas de produto

    SiC Coating Carrier For RTP/RTA é um componente chave usado nos processos de fabricação de semicondutores chamados Rapid Thermal Processing & Annealing, usamos nossa tecnologia patenteada para fazer o transportador de carboneto de silício com pureza extremamente alta, boa uniformidade de revestimento e uma excelente vida útil, como bem como alta resistência química e propriedades de estabilidade térmica.

    Características dos nossos produtos:

    1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700 ℃.
    2. Alta pureza e uniformidade térmica
    3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

    4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
    5. Maior vida útil e mais durável

    DCV SiC薄膜基本物理性能

    Propriedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento

    性质 / Propriedade

    典型数值 / Valor típico

    晶体结构 / Estrutura Cristalina

    Fase β do FCC多晶, 主要为(111)取向

    密度 / Densidade

    3,21g/cm³

    硬度 / Dureza

    2500 unidades (carga de 500g)

    晶粒大小 /Tamanho do grão

    2~10μm

    纯度 / Pureza Química

    99,99995%

    热容 / Capacidade de calor

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura de Sublimação

    2700°C

    抗弯强度 / Resistência à Flexão

    415 MPa RT de 4 pontos

    杨氏模量 / Módulo de Young

    Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃

    导热系数 / TermaeuCondutividade

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy é o verdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer várias peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

    Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

    Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a descolamento.

    Damos boas-vindas a você para visitar nossa fábrica, vamos discutir mais!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


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