O revestimento de SiC pode ser preparado por deposição química de vapor (CVD), transformação de precursor, pulverização de plasma, etc. O revestimento preparado por deposição química de vapor é uniforme e compacto e possui boa capacidade de design. Usando metil triclosilano. (CHzSiCl3, MTS) como fonte de silício, preparação de revestimento...
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