Susceptor pokryty TaC do sprzętu do epitaksji

Krótki opis:

VET zapewnia specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) dla różnych komponentów i nośników. Wiodący proces powlekania stosowany w VET umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, poprawiając jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI oraz wydłużając żywotność kluczowych elementów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a kształcenie i szkolenie zawodowe w sposób przełomowy rozwiązało technologię powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Pokryty TaCpodłożem jest cienka folia wykonana zwęglik tantalumateriał, który nakłada się na powierzchnię podłoża sprzętu epitaksjalnego.Powłoka TaCposiada wiele doskonałych właściwości, co czyni go idealnym wyborem.

Powłoka TaC jest rodzajem powłoki z węglika tantalu (TaC) przygotowanej technologią fizycznego osadzania z fazy gazowej. Ma następujące właściwości:

1. Wysoka twardość: Twardość powłoki TaC jest wysoka, zwykle może osiągnąć 2500-3000HV, jest doskonałą twardą powłoką.

2. Odporność na zużycie: powłoka TaC jest bardzo odporna na zużycie, co może skutecznie zmniejszyć zużycie i uszkodzenia części mechanicznych podczas użytkowania.

3. Dobra odporność na wysokie temperatury: powłoka TaC może również zachować doskonałą wydajność w środowisku o wysokiej temperaturze.

4. Dobra stabilność chemiczna: Powłoka TaC ma dobrą stabilność chemiczną i jest odporna na wiele reakcji chemicznych, takich jak kwasy i zasady.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Właściwości fizyczne TaC powłoka

密度/ Gęstość

14,3 (g/cm3)

比辐射率 / Specyficzna emisyjność

0,3

热膨胀系数 / Współczynnik rozszerzalności cieplnej

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Twardość (HK)

2000 HK

电阻 / Opór

1×10-5 Om*cm

热稳定性 / Stabilność termiczna

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Zmiany rozmiaru grafitu

-10~-20um

涂层厚度 / Grubość powłoki

Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd to zaawansowane technologicznie przedsiębiorstwo skupiające się na produkcji i sprzedaży wysokiej klasy zaawansowanych materiałów, materiałów i technologii obejmujących grafit, węglik krzemu, ceramikę, obróbkę powierzchni i tak dalej. Produkty są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energii, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Czat online WhatsApp!