Powłoka SiC/powlekane podłoże grafitowe/taca na półprzewodniki

Powłoka SiC/powlekane podłoże grafitowe/taca na obraz półprzewodnikowy

Krótki opis:

Susceptor grafitowy powlekany VET Energy SiC do wzrostu epitaksjalnego to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany w celu zapewnienia stałej i niezawodnej wydajności przez dłuższy czas.Ma bardzo dobrą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, wysoką czystość, odporność na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek.

Wyślij e-mail do nas Pobierz w formacie PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Powłoka SiC/powłoka grafitowego susceptora do półprzewodników

Susceptor grafitowy pokryty SiC jest kluczowym komponentem stosowanym w różnych procesach produkcji półprzewodników.Wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, aby uzyskać nośnik z węglika krzemu o wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także wysokiej odporności chemicznej i właściwościach stabilności termicznej.

Cechy:
· Doskonała odporność na szok termiczny
· Doskonała odporność na wstrząsy fizyczne
· Doskonała odporność chemiczna
· Bardzo wysoka czystość
· Dostępność w złożonym kształcie
·Można stosować w atmosferze utleniającej

Aplikacja:

Typowe właściwości podstawowego materiału grafitowego:

Gęstość pozorna:	1,85 g/cm3
Rezystancja:	11 µm
Wytrzymałość na zginanie:	49 MPa (500kgf/cm2)
Twardość Shore'a:	58
Popiół:	<5 ppm
Przewodność cieplna:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCPowłoka
性质 / Property	典型数值 / Typowa wartość
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC 多晶,主要为(111)取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm3
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / Rozmiar ziarna	2 ~ 10 μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacji	2700 ℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	Zakręt 430 Gpa, 4-punktowy, 1300 ℃
导热系数 / Przewodność cieplna	300W·m^-1·K^-1
Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy jest prawdziwym producentem niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp. Może dostarczać różne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki.

Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały i opracowaliśmy ekskluzywną opatentowaną technologię, która może sprawić, że wiązanie pomiędzy powłoką a podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!