Cechy:
· Doskonała odporność na szok termiczny
· Doskonała odporność na wstrząsy fizyczne
· Doskonała odporność chemiczna
· Bardzo wysoka czystość
· Dostępność w złożonym kształcie
·Można stosować w atmosferze utleniającej
Aplikacja:
Cechy i zalety produktu:
1. Doskonała odporność termiczna:O wysokiej czystościPowłoka SiCpodłoże wytrzymuje ekstremalne temperatury, zapewniając stałą wydajność w wymagających środowiskach, takich jak epitaksja i produkcja półprzewodników.
2. Zwiększona trwałość:Elementy grafitowe pokryte SiC zostały zaprojektowane tak, aby były odporne na korozję chemiczną i utlenianie, zwiększając żywotność podłoża w porównaniu ze standardowymi podłożami grafitowymi.
3. Grafit powlekany szklisty:Unikalna szklista strukturaPowłoka SiCzapewnia doskonałą twardość powierzchni, minimalizując zużycie podczas obróbki w wysokiej temperaturze.
4. Powłoka SiC o wysokiej czystości:Nasze podłoże zapewnia minimalne zanieczyszczenie we wrażliwych procesach półprzewodnikowych, oferując niezawodność w branżach wymagających rygorystycznej czystości materiałów.
5. Szerokie zastosowanie rynkowe:TheSusceptor grafitowy pokryty SiCRynek stale rośnie wraz ze wzrostem zapotrzebowania na zaawansowane produkty powlekane SiC w produkcji półprzewodników, co pozycjonuje to podłoże jako kluczowego gracza zarówno na rynku grafitowych nośników płytek, jak i rynku tacek grafitowych pokrytych węglikiem krzemu.
Typowe właściwości podstawowego materiału grafitowego:
| Gęstość pozorna: | 1,85 g/cm3 |
| Oporność elektryczna: | 11 µm |
| Wytrzymałość na zginanie: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| Twardość Shore'a: | 58 |
| Popiół: | <5 ppm |
| Przewodność cieplna: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka | |
| 性质 / Property | 典型数值 / Typowa wartość |
| 晶体结构 / Struktura kryształu | Faza β FCC 多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Gęstość | 3,21 g/cm3 |
| 硬度 / Twardość | 2500 维氏硬度 (ładunek 500g) |
| 晶粒大小 / Rozmiar ziarna | 2 ~ 10 μm |
| 纯度 / Czystość chemiczna | 99,99995% |
| 热容 / Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
| Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
| 杨氏模量 / Moduł Younga | Zakręt 430 GPa, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
| Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy jest prawdziwym producentem niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp. Może dostarczać różne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki.
Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.
Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały i opracowaliśmy ekskluzywną opatentowaną technologię, która może sprawić, że wiązanie pomiędzy powłoką a podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.
Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!
