Nośnik grafitowy do procesu PECVD

Krótki opis:

Energia VETPECVD Graphite Boat for Solar Panel to zaawansowany komponent zaprojektowany specjalnie do produkcji wysokowydajnych paneli słonecznych. Ta grafitowa łódź, stosowana w procesach chemicznego osadzania z fazy gazowej wzmocnionego plazmą (PECVD), zapewnia optymalną obsługę materiału i równomierne osadzanie cienkich warstw na ogniwach słonecznych. Zaprojektowany z myślą o precyzji i trwałości, zapewnia doskonałą przewodność cieplną, wysoką odporność na korozję i minimalne zanieczyszczenie, które są niezbędne do produkcji wydajnych, wysokiej jakości paneli słonecznych.

Wyślij e-mail do nas Pobierz w formacie PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Energia VETNośnik grafitowy procesowy PECVD to wysokiej jakości materiał eksploatacyjny dostosowany do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą). Ten grafitowy nośnik jest wykonany z materiału grafitowego o wysokiej czystości i dużej gęstości, o doskonałej odporności na wysokie temperatury, odporności na korozję, stabilności wymiarowej i innych cechach, może zapewnić stabilną platformę nośną dla procesu PECVD, aby zapewnić jednorodność i płaskość cienkiej warstwy zeznanie.

Nośniki grafitowe stosowane w procesie PECVD charakteryzują się następującymi cechami:

▪ Wysoka czystość: wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, co pozwala uniknąć zanieczyszczenia folii i zapewnia jakość folii.

▪ Wysoka gęstość: duża gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, odporność na wysoką temperaturę i wysokie ciśnienie w środowisku PECVD.

▪ Dobra stabilność wymiarowa: niewielka zmiana wymiarowa w wysokiej temperaturze, zapewniająca stabilność procesu.

▪ Doskonała przewodność cieplna: skutecznie przenoszą ciepło, zapobiegając przegrzaniu płytki.

▪ Wysoka odporność na korozję: odporność na erozję pod wpływem różnych gazów korozyjnych i plazmy.

▪ Usługa zindywidualizowana: nośniki grafitowe o różnych rozmiarach i kształtach można dostosować do potrzeb klienta.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	ISO13320	10	um
Gęstość nasypowa	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otwarta porowatość	DIN66133	10	%
Średnia wielkość porów	DIN66133	1.8	um
Przepuszczalność	DIN51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specyficzna oporność elektryczna	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN51910	130	MPa
Moduł Younga	DIN51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200 ℃)	DIN51909	4,2X10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20 ℃)	DIN51908	105	Wm^-1K^-1

Został specjalnie zaprojektowany do wysokowydajnej produkcji ogniw słonecznych, wspierając przetwarzanie wielkogabarytowych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacznie zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższą wydajność i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numeryczny nośnik opłatków
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	Łódź grefitowa 156-13	144
	Łódź grefitowa 156-19	216
	Łódź grefitowa 156-21	240
	Łódka grafitowa 156-23	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280