Susceptor płytowy pokryty CVD TaC

Krótki opis:

Susceptor płytowy VET Energy CVD TaC to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany w celu zapewnienia stałej i niezawodnej pracy przez dłuższy czas. Ma bardzo dobrą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, wysoką czystość, odporność na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

ThePowłoka CVD TaCPlate Susceptor firmy Vet-China został zaprojektowany z myślą o wysokiej wydajności w procesach chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Susceptor ten charakteryzuje się solidnościąPowłoka TaC (węglik tantalu)., oferujący wyjątkową stabilność termiczną, odporność chemiczną i trwałość, co czyni go idealnym rozwiązaniem do produkcji półprzewodników i zastosowań wysokotemperaturowych. ThePowłoka CVD TaCzapewnia doskonałą odporność na utlenianie i zużycie, pozwalając susceptorowi zachować integralność i funkcjonalność w trudnych warunkach.

weterynarz-chinaPowłoka CVD TaCPlate Susceptor wyróżnia się zdolnością do równomiernego rozprowadzania ciepła podczas procesów CVD, zapewniając precyzyjne osadzanie warstw i zwiększając wydajność produkcji półprzewodników. Powłoka Ta-C zapewnia dodatkową ochronę przed korozją chemiczną, wydłużając żywotność susceptora i poprawiając ogólną wydajność. Dzięki połączeniu zaawansowanej technologii susceptora CVD i wysokiej jakości powłok chemicznych TaC, susceptor ten jest kluczowym komponentem dla gałęzi przemysłu wymagających precyzji i niezawodności w środowiskach o wysokiej temperaturze.

Niezależnie od tego, czy są stosowane w produkcji półprzewodników, czy w innych zaawansowanych technologicznie zastosowaniach,Susceptor płytowy pokryty CVD TaCzostał zaprojektowany, aby sprostać wymaganiom nowoczesnej produkcji. Produkt ten, wspierany przez reputację firmy Semicera w zakresie innowacyjności i jakości, oferuje doskonałą wydajność i długotrwałą trwałość, co czyni go zaufanym wyborem w procesach CVD.

Powłoka TaC jest rodzajem powłoki z węglika tantalu (TaC) przygotowanej technologią fizycznego osadzania z fazy gazowej. Ma następujące właściwości:

1. Wysoka twardość: Twardość powłoki TaC jest wysoka, zwykle może osiągnąć 2500-3000HV, jest doskonałą twardą powłoką.

2. Odporność na zużycie: powłoka TaC jest bardzo odporna na zużycie, co może skutecznie zmniejszyć zużycie i uszkodzenia części mechanicznych podczas użytkowania.

3. Dobra odporność na wysokie temperatury: powłoka TaC może również zachować doskonałą wydajność w środowisku o wysokiej temperaturze.

4. Dobra stabilność chemiczna: Powłoka TaC ma dobrą stabilność chemiczną i jest odporna na wiele reakcji chemicznych, takich jak kwasy i zasady.

Powłoka TaC13
Powłoka TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Właściwości fizyczne TaC powłoka

密度/ Gęstość

14,3 (g/cm3)

比辐射率 / Specyficzna emisyjność

0,3

热膨胀系数 / Współczynnik rozszerzalności cieplnej

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Twardość (HK)

2000 HK

电阻 / Opór

1×10-5 Om*cm

热稳定性 / Stabilność termiczna

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Zmiany rozmiaru grafitu

-10~-20um

涂层厚度 / Grubość powłoki

Typowa wartość ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd to zaawansowane technologicznie przedsiębiorstwo skupiające się na produkcji i sprzedaży wysokiej klasy zaawansowanych materiałów, materiałów i technologii obejmujących grafit, węglik krzemu, ceramikę, obróbkę powierzchni i tak dalej. Produkty są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energii, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Czat online WhatsApp!