VET ଶକ୍ତି PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେ ହେଉଛି ଏକ ସଠିକ ବାହକ ଯାହା PECVD (ପ୍ଲାଜମା ବର୍ଦ୍ଧିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି | ଏହି ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଡିପୋଜିଟେସନ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପଦାର୍ଥରେ ନିର୍ମିତ | ଏଥିରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଅଛି | ଏହା PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ବାହକ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସଂରକ୍ଷଣର ସମାନତା ଏବଂ ସମତଳତାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ |
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍, ଏଲଇଡି ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ VET ଶକ୍ତି PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେଗୁଡିକ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ:
▪ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର: ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱାଫର୍ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା |
Oto ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍: ସ ar ର ସେଲ୍ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା |
▪ LED: LED ଚିପ୍ସ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା |
ଉତ୍ପାଦ ସୁବିଧା
▪ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି:ୟୁନିଫର୍ମ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତି କରନ୍ତୁ |
▪ଯନ୍ତ୍ରପାତି ଜୀବନ ବ end ାନ୍ତୁ:ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, PECVD ଯନ୍ତ୍ରର ସେବା ଜୀବନ ବ extend ାନ୍ତୁ |
▪ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ:ଉଚ୍ଚମାନର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେଗୁଡିକ ସ୍କ୍ରାପ୍ ହାର ହ୍ରାସ କରିପାରେ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ |
SGL ରୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ:
| ସାଧାରଣ ପାରାମିଟର: R6510 | |||
| ସୂଚକାଙ୍କ | ପରୀକ୍ଷା ମାନକ | ମୂଲ୍ୟ | ୟୁନିଟ୍ |
| ହାରାହାରି ଶସ୍ୟ ଆକାର | | ISO 13320 | ୧୦ | μm |
| ବଲ୍କ ଘନତା | | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g / cm3 |
| ଖୋଲା ଖୋଲାତା | | DIN66133 | ୧୦ | % |
| ମଧ୍ୟମ ପୋର ଆକାର | | DIN66133 | 1.8 | μm |
| ଅନୁମତି | DIN 51935 | 0.06 | cm² / s |
| ରକୱେଲ କଠିନତା HR5 / 100 | | DIN IEC60413 / 303 | 90 | HR |
| ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବ electrical ଦୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା | | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ୟଙ୍ଗର ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| ତାପଜ ବିସ୍ତାର (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ଏହା G12 ବୃହତ ଆକାରର ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରି ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ସ ar ର ସେଲ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବିଶେଷ ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି | ଅପ୍ଟିମାଇଜଡ୍ କ୍ୟାରିଅର୍ ଡିଜାଇନ୍ ଥ୍ରୋପପୁଟକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ବୃଦ୍ଧି କରିଥାଏ, ଅଧିକ ଅମଳ ହାର ଏବଂ କମ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |
| ଆଇଟମ୍ | | ଟାଇପ୍ କରନ୍ତୁ | | ନମ୍ବର ୱେଫର୍ ବାହକ | |
| PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 156 ସିରିଜ୍ | | 156-13 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 144 |
| 156-19 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 216 | |
| 156-21 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 240 | |
| 156-23 ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 308 | |
| PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 125 ସିରିଜ୍ | | 125-15 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | ୧ 66 |
| 125-19 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 252 | |
| 125-21 ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 280 |
-
କଷ୍ଟୋମାଇଜ୍ ହୋଇଥିବା ନମନୀୟ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ରିଙ୍ଗ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ...
-
ଉଚ୍ଚମାନର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପେପର ସଶକ୍ତ ନମନୀୟ ...
-
ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ଲକ୍ ସାଇଜ୍ ...
-
ଚିତ୍ତାକର୍ଷକ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ରଡ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାର୍ବନ ରଡ୍ ଗ୍ରା ...
-
ଆଣ୍ଟିମୋନି ଇମ୍ପ୍ରେଗ୍ରେଡ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ରିଙ୍ଗ ହାଇ ଟେମ୍ପେରା ...
-
ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ ପମ୍ପ ସ୍ଲାଇଡିଂ ଭାରିଙ୍ଗ୍ ରେସ୍ ...