VET ଶକ୍ତି PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ୱେଫର୍ ସମର୍ଥନ ହେଉଛି PECVD (ପ୍ଲାଜମା ବର୍ଦ୍ଧିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଥିବା ଏକ ମୂଳ ଉପଯୋଗୀ | ଏହି ଉତ୍ପାଦଟି ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପଦାର୍ଥରେ ନିର୍ମିତ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ, PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ସମର୍ଥନ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ, ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ସମାନତା ଏବଂ ସମତଳତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ |
VET ଏନର୍ଜି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ୱେଫର୍ ସପୋର୍ଟର "ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସପୋର୍ଟ" ଡିଜାଇନ୍ କେବଳ ୱେଫରକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସମର୍ଥନ କରିପାରିବ ନାହିଁ, ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସ୍ଥିରତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଚାପ PECVD ପରିବେଶରେ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ମଧ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ |
VET ଶକ୍ତି PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ୱେଫର୍ ସମର୍ଥନରେ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଗୁଣ ଅଛି:
▪ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା:ଅତ୍ୟଧିକ ନିମ୍ନ ଅପରିଷ୍କାର ବିଷୟବସ୍ତୁ, ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଗୁଣବତ୍ତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ରଦୂଷଣରୁ ଦୂରେଇ ରୁହ |
▪ଉଚ୍ଚ ଘନତା:ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା, ଉଚ୍ଚ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଚାପ PECVD ପରିବେଶକୁ ସହ୍ୟ କରିପାରିବ |
▪ଭଲ ପରିମାଣର ସ୍ଥିରତା:ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସ୍ଥିରତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଛୋଟ ଆକାରର ପରିବର୍ତ୍ତନ |
▪ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ଚାଳନା:ୱେଫର୍ ଅତ୍ୟଧିକ ଗରମକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ଫଳପ୍ରଦ ଭାବରେ ଉତ୍ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରନ୍ତୁ |
▪ଶକ୍ତିଶାଳୀ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ:ବିଭିନ୍ନ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ଦ୍ୱାରା କ୍ଷୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ |
▪କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ସେବା:ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ବିଭିନ୍ନ ଆକାର ଏବଂ ଆକୃତିର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସପୋର୍ଟ ଟେବୁଲ୍ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ |
SGL ରୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ:
ସାଧାରଣ ପାରାମିଟର: R6510 | |||
ସୂଚକାଙ୍କ | ପରୀକ୍ଷା ମାନକ | ମୂଲ୍ୟ | ୟୁନିଟ୍ |
ହାରାହାରି ଶସ୍ୟ ଆକାର | | ISO 13320 | ୧୦ | μm |
ବଲ୍କ ଘନତା | | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g / cm3 |
ଖୋଲା ଖୋଲାତା | | DIN66133 | ୧୦ | % |
ମଧ୍ୟମ ପୋର ଆକାର | | DIN66133 | 1.8 | μm |
ଅନୁମତି | DIN 51935 | 0.06 | cm² / s |
ରକୱେଲ କଠିନତା HR5 / 100 | | DIN IEC60413 / 303 | 90 | HR |
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବ electrical ଦୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା | | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | | DIN 51910 | 130 | MPa |
ୟଙ୍ଗର ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
ତାପଜ ବିସ୍ତାର (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ଏହା G12 ବୃହତ ଆକାରର ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରି ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ସ ar ର ସେଲ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବିଶେଷ ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି | ଅପ୍ଟିମାଇଜଡ୍ କ୍ୟାରିଅର୍ ଡିଜାଇନ୍ ଥ୍ରୋପପୁଟକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ବୃଦ୍ଧି କରିଥାଏ, ଅଧିକ ଅମଳ ହାର ଏବଂ କମ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |
ଆଇଟମ୍ | | ଟାଇପ୍ କରନ୍ତୁ | | ନମ୍ବର ୱେଫର୍ ବାହକ | |
PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 156 ସିରିଜ୍ | | 156-13 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 144 |
156-19 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 216 | |
156-21 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 240 | |
156-23 ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 308 | |
PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 125 ସିରିଜ୍ | | 125-15 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | ୧ 66 |
125-19 ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 252 | |
125-21 ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | | 280 |