SiC Waferboot/toren

Korte beschrijving:

Stuur een e-mail naar ons Downloaden als PDF

Productdetail

Productlabels

ProductDbeschrijving

Siliciumcarbide Wafer Boat wordt veel gebruikt als wafelhouder bij diffusieprocessen bij hoge temperaturen.

Voordelen:

Bestand tegen hoge temperaturen:normaal gebruik bij 1800 ℃

Hoge thermische geleidbaarheid:gelijk aan grafietmateriaal

Hoge hardheid:hardheid komt op de tweede plaats na diamant, boornitride

Corrosiebestendigheid:Sterk zuur en alkali hebben geen corrosie, de corrosieweerstand is beter dan die van wolfraamcarbide en aluminiumoxide

Lichtgewicht:lage dichtheid, dichtbij aluminium

Geen vervorming: lage thermische uitzettingscoëfficiënt

Bestand tegen thermische schokken:het is bestand tegen scherpe temperatuurveranderingen, is bestand tegen thermische schokken en heeft stabiele prestaties

Fysische eigenschappen van SiC

Eigendom	Waarde	Methode
Dikte	3,21 g/cc	Zink-float en dimensie
Specifieke warmte	0,66 J/g °K	Gepulseerde laserflits
Buigsterkte	450 MPa560 MPa	4-puntsbocht, RT4-puntsbocht, 1300°
Breuktaaiheid	2,94 MPa m1/2	Micro-inspringing
Hardheid	2800	Vicker's, 500 gram lading
Elasticiteitsmodulus Young's modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bocht, RT4 pt bocht, 1300 °C
Korrelgrootte	2 – 10 µm	SEM