CVD Siliciumcarbide gecoate grafietring

Korte beschrijving:

VET Energy met siliciumcarbide gecoate grafietring is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een langere periode. Het heeft een supergoede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

Stuur een e-mail naar ons Downloaden als PDF

Productdetail

Productlabels

Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Schijnbare dichtheid:	1,85 g/cm3
Elektrische weerstand:	11 μΩm
Buigsterkte:	49 MPa (500kgf/cm2)
Kusthardheid:	58
As:	<5 ppm
Thermische geleidbaarheid:	116 W/mK (100 kcal/muur-℃)

Voor alle huidige epitaxiereactoren leveren wij diverse susceptors en grafietcomponenten. Onze producten omvatten vatsusceptors voor LPE-units, pannenkoeksusceptors voor LPE-, CSD- en Gemini-units, en single-wafer susceptors voor toegepaste en ASM-units.

Door sterke partnerschappen met toonaangevende OEM's, materiaalexpertise en productiekennis te combineren, biedt vet het optimale ontwerp voor uw toepassing.

VET Energie is deechte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating,kan leverenverscheideneop maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. OOns technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan professionelere materiële oplossingen biedenvoor jou.

Feigenschappen van onze producten:

1. Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid enthermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosieweerstand: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Geen probleem / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
导热系数 / ThermalGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1