MOCVD Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် RTP/RTA SiC ဖုံးလွှမ်းခြင်းဝန်ဆောင်မှု

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

VET Energy RTP/RTA SiC Coating Carrier သည် အချိန်ကြာမြင့်စွာ တသမတ်တည်းနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတူညီမှု၊ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ တိုက်စားမှုဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ၎င်းသည် wafer processing applications များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသောဖြေရှင်းချက်ဖြစ်စေသည်။


  • မူလနေရာ :တရုတ်
  • သလင်းကျောက်ဖွဲ့စည်းပုံ-FCCβ အဆင့်
  • သိပ်သည်းဆ :၃.၂၁ ဂရမ်/စင်တီမီတာ
  • မာကျော:Vickers 2500
  • စပါးအရွယ်အစား2~10μm
  • ဓာတုသန့်စင်မှု99.99995%
  • အပူစွမ်းရည်-640J·kg-1·K-1
  • Sublimation အပူချိန်2700 ℃
  • Felexural Strength:415 Mpa (RT 4 အမှတ်)
  • Young's Modulus430 Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)
  • အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (CTE)4.5 10-6K-1
  • အပူလျှပ်ကူးမှု-300 (W/MK)
  • ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

    ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

    SiC Coating Carrier For RTP/RTA သည် Rapid Thermal Processing & Annealing ဟုခေါ်သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သယ်ဆောင်သူအား အလွန်သန့်ရှင်းသော၊ ကောင်းမွန်သော coating တူညီမှုနှင့် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းအဖြစ် ပိုမိုကောင်းမွန်သော ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းရရှိစေရန် ကျွန်ုပ်တို့၏ မူပိုင်ခွင့်နည်းပညာကို အသုံးပြုပါသည်။ မြင့်မားသောဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့်အပူတည်ငြိမ်ဂုဏ်သတ္တိများ။

    ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များ၏အင်္ဂါရပ်များ:

    1. မြင့်မားသောအပူချိန် 1700 ℃အထိ oxidation ခုခံ။
    2. မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့်အပူတူညီမှု
    3. အလွန်ကောင်းမွန်သောချေးခုခံမှု- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။

    4. မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ကျစ်လစ်သော မျက်နှာပြင်၊ ကောင်းမွန်သော အမှုန်များ။
    5. တာရှည်ခံပြီး တာရှည်ခံသည်။

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများအပေါ်ယံပိုင်း

    性质 /အိမ်ခြံမြေ

    典型数值 / ပုံမှန်တန်ဖိုး

    晶体结构 / Crystal Structure

    FCC β အဆင့်多晶,主要为(111)取向

    密度 / သိပ်သည်းဆ

    3.21 g/cm³

    硬度 / မာကျောမှု

    2500维氏硬度 (500g load)

    晶粒大小 / သီးနှံ SiZe

    2~10μm

    纯度 / ဓာတုသန့်စင်မှု

    99.99995%

    热内 / Heat Capacity

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimation အပူချိန်

    2700 ℃

    抗弯强度 / Flexural Strength

    415 MPa RT 4 ပွိုင့်

    杨氏模量 / Young's Modulus

    430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃

    导热系数 / အပူဓာတ်လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE)

    4.5×10-6K-1

    ၁

    ၂

    VET Energy သည် SiC coating၊ TaC coating၊ glassy carbon coating၊ pyrolytic carbon coating စသည်ဖြင့် စိတ်ကြိုက် coatings အမျိုးမျိုးဖြင့် စိတ်ကြိုက် ဂရပ်ဖိုက်နှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ထုတ်ကုန်များကို ထုတ်လုပ်သူဖြစ်ပြီး၊ semiconductor နှင့် photovoltaic လုပ်ငန်းအတွက် စိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။

    ကျွန်ုပ်တို့၏နည်းပညာအဖွဲ့သည် ထိပ်တန်းပြည်တွင်းသုတေသနအဖွဲ့အစည်းများမှ လာ၍ သင့်အတွက် ပိုမိုကျွမ်းကျင်သော ပစ္စည်းဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။

    ကျွန်ုပ်တို့သည် ပိုမိုအဆင့်မြင့်သောပစ္စည်းများကိုပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် အဆင့်မြင့်လုပ်ငန်းစဉ်များကို စဉ်ဆက်မပြတ်လုပ်ဆောင်နေပြီး၊ အပေါ်ယံနှင့်အလွှာကြားတွင် ပေါင်းစပ်မှုကို ပိုမိုတင်းကျပ်စေပြီး ကွဲထွက်နိုင်မှုနည်းပါးစေမည့် သီးသန့်မူပိုင်ခွင့်နည်းပညာကို တီထွင်လုပ်ဆောင်ထားပါသည်။

    ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံသို့လာရောက်လည်ပတ်ရန် သင့်အား နွေးထွေးစွာ ကြိုဆိုပါသည်၊ နောက်ထပ် ဆွေးနွေးမှုများ ပြုလုပ်ကြပါစို့။

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု:

  • WhatsApp အွန်လိုင်းစကားပြောခြင်း။