VET Energy PECVD လုပ်ငန်းစဉ်သည် ဂရပ်ဖိုက် wafer အထောက်အပံ့သည် PECVD (ပလာစမာ မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအငွေ့များ စုဆောင်းခြင်း) လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အဓိက စားသုံးနိုင်သော လောင်စာတစ်မျိုးဖြစ်သည်။ ဤထုတ်ကုန်သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုနှင့် အခြားဝိသေသလက္ခဏာများဖြင့် သန့်ရှင်းသပ်ရပ်သော၊ သိပ်သည်းဆမြင့်သော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး၊ PECVD လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တည်ငြိမ်သောပံ့ပိုးမှုပလက်ဖောင်းကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး၊ ဖလင်အပ်နှံမှု၏ညီညွှတ်မှုနှင့် ညီညွှတ်မှုကိုသေချာစေရန်။
VET Energy graphite wafer ပံ့ပိုးမှု၏ "ဂရပ်ဖိုက်ပံ့ပိုးမှု" ဒီဇိုင်းသည် wafer ကို ထိထိရောက်ရောက် ထောက်ပံ့ပေးရုံသာမက လုပ်ငန်းစဉ်၏တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန် PECVD ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူချိန်နှင့် မြင့်မားသောဖိအားများကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။
VET Energy PECVD လုပ်ငန်းစဉ် ဂရပ်ဖိုက် wafer ပံ့ပိုးမှုတွင် အောက်ပါလက္ခဏာများ ရှိသည်။
▪မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု-အလွန်နိမ့်သောညစ်ညမ်းအကြောင်းအရာ၊ ရုပ်ရှင်၏ညစ်ညမ်းမှုကိုရှောင်ရှားရန်, ရုပ်ရှင်၏အရည်အသွေးကိုသေချာစေရန်။
▪မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆ-မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆ၊ မြင့်မားသောစက်မှုစွမ်းအား၊ မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့်မြင့်မားသောဖိအား PECVD ပတ်ဝန်းကျင်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
▪ကောင်းသောအတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု-လုပ်ငန်းစဉ်၏တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန်မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်သေးငယ်သောအတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများ။
▪အထူးကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှု-wafer အပူလွန်ကဲခြင်းမှကာကွယ်ရန်ထိရောက်စွာအပူလွှဲပြောင်း။
▪ခိုင်ခံ့သော သံချေးတက်ခြင်း-အမျိုးမျိုးသော အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ပလာစမာတို့၏ တိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
▪စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှု-အရွယ်အစားနှင့် ပုံသဏ္ဍာန်အမျိုးမျိုးရှိသော Graphite ပံ့ပိုးမှုဇယားများကို ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်အရ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သည်။
SGL မှ Graphite ပစ္စည်း
ပုံမှန်သတ်မှတ်ချက်- R6510 | |||
အညွှန်း | စမ်းသပ်စံ | တန်ဖိုး | ယူနစ် |
ပျမ်းမျှစပါးအရွယ်အစား | ISO 13320 | ၁၀ | µm |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | DIN IEC 60413/204 | ၁.၈၃ | g/cm3 |
ချွေးပေါက်များကိုဖွင့်ပါ။ | DIN66133 | ၁၀ | % |
အလယ်အလတ် ချွေးပေါက်အရွယ်အစား | DIN66133 | ၁.၈ | µm |
စိမ့်ဝင်နိုင်မှု | DIN 51935 | ၀.၀၆ | cm²/s |
Rockwell မာကျောမှု HR5/100 | DIN IEC60413/303 | ၉၀ | HR |
တိကျသောလျှပ်စစ်ခုခံနိုင်စွမ်း | DIN IEC 60413/402 | ၁၃ | μΩm |
Flexural ခွန်အား | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
တွန်းအား | DIN 51910 | ၁၃၀ | MPa |
Young's Modulus | DIN 51915 | ၁၁.၅×၁၀³ | MPa |
အပူချဲ့ခြင်း (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (20 ℃) | DIN 51908 | ၁၀၅ | Wm-1K-1 |
၎င်းသည် G12 အရွယ်အစားကြီးမားသော wafer လုပ်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဆိုလာဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ဝန်ဆောင်မှုပေးသည့် ဒီဇိုင်းသည် သွင်းအားကို သိသိသာသာ တိုးစေပြီး အထွက်နှုန်း မြင့်မားစေကာ ထုတ်လုပ်မှု ကုန်ကျစရိတ် နည်းပါးစေသည်။
ကုသိုလ်ကံ | ရိုက်ပါ။ | နံပါတ် wafer သယ်ဆောင်သူ |
PEVCD Grephite လှေ - 156 စီးရီး | 156-13 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၁၄၄ |
156-19 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၂၁၆ | |
156-21 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၂၄၀ | |
၁၅၆-၂၃ ဖိုက်တာလှေ | ၃၀၈ | |
PEVCD Grephite လှေ - 125 စီးရီး | 125-15 ဂရပ်ဖိုက်လှေ | ၁၉၆ |
125-19 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၂၅၂ | |
125-21 grphite လှေ | ၂၈၀ |