VET Energy graphite wafer boat သည် semiconductor၊ photovoltaic နှင့် အခြားစက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် အပ်နှံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အံဝင်ခွင်ကျရှိသော အရည်အသွေးမြင့် စားသုံးနိုင်သော လောင်စာဆီတစ်မျိုးဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ သိပ်သည်းဆမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် ဤထုတ်ကုန်သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ အတိုင်းအတာ တည်ငြိမ်မှုနှင့် အခြားဝိသေသလက္ခဏာများ ရှိပြီး ပါးလွှာသောဖလင် အစစ်ခံခြင်း၏ တူညီမှုနှင့် ညီညာမှုကို သေချာစေရန် သိုလှောင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တည်ငြိမ်သော carrier platform ကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ .
VET Energy မှ PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေအား သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော isostatic graphite ဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားပြီး မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှု Ra≤1.6μm အောက်တွင် 15% အောက်တွင် ပါဝင်ပါသည်။ သာလွန်ကောင်းမွန်သော Dimension တည်ငြိမ်မှုနှင့် အပူစီးကူးနိုင်မှုတို့သည် တူညီသောဖလင်များ စုဆောင်းခြင်းနှင့် ဆဲလ်များ၏စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
SGL မှ Graphite ပစ္စည်း
ပုံမှန်သတ်မှတ်ချက်- R6510 | |||
အညွှန်း | စမ်းသပ်စံ | တန်ဖိုး | ယူနစ် |
ပျမ်းမျှစပါးအရွယ်အစား | ISO 13320 | ၁၀ | µm |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | DIN IEC 60413/204 | ၁.၈၃ | g/cm3 |
ချွေးပေါက်များကိုဖွင့်ပါ။ | DIN66133 | ၁၀ | % |
အလယ်အလတ် ချွေးပေါက်အရွယ်အစား | DIN66133 | ၁.၈ | µm |
စိမ့်ဝင်နိုင်မှု | DIN 51935 | ၀.၀၆ | cm²/s |
Rockwell မာကျောမှု HR5/100 | DIN IEC60413/303 | ၉၀ | HR |
တိကျသောလျှပ်စစ်ခုခံနိုင်စွမ်း | DIN IEC 60413/402 | ၁၃ | μΩm |
Flexural ခွန်အား | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
တွန်းအား | DIN 51910 | ၁၃၀ | MPa |
Young's Modulus | DIN 51915 | ၁၁.၅×၁၀³ | MPa |
အပူချဲ့ခြင်း (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (20 ℃) | DIN 51908 | ၁၀၅ | Wm-1K-1 |
၎င်းသည် G12 အရွယ်အစားကြီးမားသော wafer လုပ်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဆိုလာဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ဝန်ဆောင်မှုပေးသည့် ဒီဇိုင်းသည် သွင်းအားကို သိသိသာသာ တိုးစေပြီး အထွက်နှုန်း မြင့်မားစေကာ ထုတ်လုပ်မှု ကုန်ကျစရိတ် နည်းပါးစေသည်။
ကုသိုလ်ကံ | ရိုက်ပါ။ | နံပါတ် wafer သယ်ဆောင်သူ |
PEVCD Grephite လှေ - 156 စီးရီး | 156-13 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၁၄၄ |
156-19 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၂၁၆ | |
156-21 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၂၄၀ | |
၁၅၆-၂၃ ဖိုက်တာလှေ | ၃၀၈ | |
PEVCD Grephite လှေ - 125 စီးရီး | 125-15 ဂရပ်ဖိုက်လှေ | ၁၉၆ |
125-19 ဂရက်ဖိုက်လှေ | ၂၅၂ | |
125-21 grphite လှေ | ၂၈၀ |